Semicera10x10 mm Polar bo'lmagan M-tekislik alyuminiy substratilg'or optoelektronik ilovalarning talablarini qondirish uchun puxta ishlab chiqilgan. Ushbu substrat qutbsiz M-tekislik yo'nalishiga ega, bu LEDlar va lazer diodlari kabi qurilmalarda qutblanish effektlarini kamaytirish uchun muhim bo'lib, yaxshilangan ishlash va samaradorlikka olib keladi.
The10x10 mm Polar bo'lmagan M-tekislik alyuminiy substratminimal nuqson zichligi va ustun struktura yaxlitligini ta'minlaydigan ajoyib kristalli sifat bilan yaratilgan. Bu uni keyingi avlod optoelektronik qurilmalarini ishlab chiqish uchun zarur bo'lgan yuqori sifatli III-nitridli plyonkalarning epitaksial o'sishi uchun ideal tanlov qiladi.
Semicera'ning nozik muhandisligi har bir10x10 mm Polar bo'lmagan M-tekislik alyuminiy substratbir tekis plyonka yotqizish va qurilma ishlab chiqarish uchun juda muhim bo'lgan izchil qalinlik va sirt tekisligini taklif qiladi. Bundan tashqari, substratning ixcham o'lchami uni tadqiqot va ishlab chiqarish muhiti uchun mos qiladi va turli xil ilovalarda moslashuvchan foydalanish imkonini beradi. Ajoyib termal va kimyoviy barqarorlik bilan ushbu substrat ilg'or optoelektronik texnologiyalarni rivojlantirish uchun ishonchli asos bo'lib xizmat qiladi.
| Elementlar | Ishlab chiqarish | Tadqiqot | Qo'g'irchoq |
| Kristal parametrlari | |||
| Politip | 4H | ||
| Yuzaki orientatsiya xatosi | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektr parametrlari | |||
| Dopant | n-turi azot | ||
| Qarshilik | 0,015-0,025 ohm · sm | ||
| Mexanik parametrlar | |||
| Diametri | 150,0±0,2 mm | ||
| Qalinligi | 350±25 mkm | ||
| Birlamchi tekis orientatsiya | [1-100]±5° | ||
| Birlamchi tekis uzunlik | 47,5±1,5 mm | ||
| Ikkilamchi kvartira | Yo'q | ||
| TTV | ≤5 mkm | ≤10 mkm | ≤15 mkm |
| LTV | ≤3 mkm (5mm*5mm) | ≤5 mkm (5mm*5mm) | ≤10 mkm (5mm*5mm) |
| Kamon | -15mm ~ 15mm | -35μm ~ 35μm | -45mm ~ 45mm |
| Buzilish | ≤35 mkm | ≤45 mkm | ≤55 mkm |
| Old (si-yuz) pürüzlülüğü (AFM) | Ra≤0,2nm (5mm*5mm) | ||
| Tuzilishi | |||
| Mikrotrubaning zichligi | <1 ea/sm2 | <10 ea/sm2 | <15 ea/sm2 |
| Metall aralashmalar | ≤5E10atom/sm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/sm2 | ≤3000 ea/sm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/sm2 | ≤1000 ea/sm2 | NA |
| Old Sifat | |||
| Old | Si | ||
| Yuzaki ishlov berish | Si-face CMP | ||
| Zarrachalar | ≤60ea/gofret (hajmi≥0,3 mkm) | NA | |
| Chiziqlar | ≤5ea/mm. Kümülatif uzunlik ≤Diametr | Kümülatif uzunlik≤2*Diametr | NA |
| Apelsin qobig'i / chuqurchalar / dog'lar / chiziqlar / yoriqlar / ifloslanish | Yo'q | NA | |
| Yon chiplari / chuqurliklari / sinishi / olti burchakli plitalar | Yo'q | ||
| Politipli hududlar | Yo'q | Kümülatif maydon≤20% | Kümülatif maydon≤30% |
| Old lazer belgisi | Yo'q | ||
| Orqaga Sifat | |||
| Orqa tugatish | C-yuzli CMP | ||
| Chiziqlar | ≤5ea/mm,Kümülatif uzunlik≤2*Diametr | NA | |
| Orqa nuqsonlar (chekka chiplari/cheklari) | Yo'q | ||
| Orqa pürüzlülük | Ra≤0,2nm (5mm*5mm) | ||
| Orqa lazer belgilari | 1 mm (yuqori chetidan) | ||
| Chet | |||
| Chet | Chamfer | ||
| Qadoqlash | |||
| Qadoqlash | Vakuumli qadoqlash bilan epi-tayyor Ko'p gofretli kassetali qadoqlash | ||
| *Izohlar: “NA” soʻrov yoʻq degan maʼnoni bildiradi. | |||
