4 dyuymli SiC substrat N-turi

Qisqacha tavsif:

Semicera 4H-8H SiC gofretlarining keng assortimentini taklif etadi. Ko'p yillar davomida biz yarimo'tkazgich va fotovoltaik sanoat uchun mahsulotlar ishlab chiqaruvchisi va yetkazib beruvchisi bo'ldik. Bizning asosiy mahsulotlarimizga quyidagilar kiradi: kremniy karbid plitasi, kremniy karbid qayiq tirkamalari, kremniy karbid gofret qayiqlari (PV va yarimo'tkazgich), kremniy karbidli pech quvurlari, kremniy karbid konsolli qayiqlar, kremniy karbid chucks, kremniy karbid nurlari, shuningdek CVD TaC qoplamalari. Ko'pgina Evropa va Amerika bozorlarini qamrab oladi. Biz sizning Xitoyda uzoq muddatli hamkor bo'lishni orziqib kutamiz.

Bizga elektron pochta xabarini yuboring

Mahsulot detali

Mahsulot teglari

Silikon karbid (SiC) monokristalli material katta tarmoqli bo'shlig'iga ega (~Si 3 marta), yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi (~Si 3,3 marta yoki GaAs 10 marta), yuqori elektron to'yinganlik migratsiya tezligi (~Si 2,5 marta), yuqori parchalanish elektr maydon (~Si 10 marta yoki GaAs 5 marta) va boshqa ajoyib xususiyatlar.

Semicera Energy mijozlarga yuqori sifatli Supero'tkazuvchilar (O'tkazuvchan), Yarim izolyatsiyalovchi (Yarim izolyatsiyalovchi), HPSI (Yuqori toza yarim izolyatsiya qiluvchi) silikon karbid substratini taqdim etishi mumkin; Bundan tashqari, biz mijozlarga bir hil va heterojen kremniy karbid epitaksial plitalar bilan ta'minlay olamiz; Shuningdek, epitaksial varaqni mijozlarning o'ziga xos ehtiyojlariga ko'ra sozlashimiz mumkin va minimal buyurtma miqdori yo'q.

Elementlar	Ishlab chiqarish	Tadqiqot	Qo'g'irchoq
Kristal parametrlari
Politip	4H
Yuzaki orientatsiya xatosi	<11-20 >4±0,15°
Elektr parametrlari
Dopant	n-turi azot
Qarshilik	0,015-0,025 ohm · sm
Mexanik parametrlar
Diametri	99,5 - 100 mm
Qalinligi	350±25 mkm
Birlamchi tekis orientatsiya	[1-100]±5°
Birlamchi tekis uzunlik	32,5±1,5 mm
Ikkilamchi tekis holat	Birlamchi tekislikdan 90 ° CW ± 5 °. silikon yuz yuqoriga
Ikkilamchi tekis uzunlik	18±1,5 mm
TTV	≤5 mkm	≤10 mkm	≤20 mkm
LTV	≤2 mkm (5mm*5mm)	≤5 mkm (5mm*5mm)	NA
Kamon	-15mm ~ 15mm	-35μm ~ 35μm	-45mm ~ 45mm
Buzilish	≤20 mkm	≤45 mkm	≤50 mkm
Old (si-yuz) pürüzlülüğü (AFM)	Ra≤0,2nm (5mm*5mm)
Tuzilishi
Mikrotrubaning zichligi	≤1 ea/sm2	≤5 ea/sm2	≤10 ea/sm2
Metall aralashmalar	≤5E10atom/sm2		NA
BPD	≤1500 ea/sm2	≤3000 ea/sm2	NA
TSD	≤500 ea/sm2	≤1000 ea/sm2	NA
Old Sifat
Old	Si
Yuzaki ishlov berish	Si-face CMP
Zarrachalar	≤60ea/gofret (hajmi≥0,3 mkm)	NA
Chiziqlar	≤2ea/mm. Kümülatif uzunlik ≤Diametr	Kümülatif uzunlik≤2*Diametr	NA
Apelsin qobig'i / chuqurchalar / dog'lar / chiziqlar / yoriqlar / ifloslanish	Yo'q		NA
Yon chiplari / chuqurchalar / sinish / olti burchakli plitalar	Yo'q		NA
Politipli hududlar	Yo'q	Kümülatif maydon≤20%	Kümülatif maydon≤30%
Old lazer belgisi	Yo'q
Orqaga Sifat
Orqa tugatish	C-yuzli CMP
Chiziqlar	≤5ea/mm,Kümülatif uzunlik≤2*Diametr	NA
Orqa nuqsonlar (chekka chiplari/cheklari)	Yo'q
Orqa pürüzlülük	Ra≤0,2nm (5mm*5mm)
Orqa lazer belgilari	1 mm (yuqori chetidan)
Chet
Chet	Chamfer
Qadoqlash
Qadoqlash	Ichki sumka azot bilan to'ldirilgan va tashqi sumka changyutgich bilan tozalanadi. Ko'p gofretli kassetali, epi-tayyor.
*Izohlar: “NA” soʻrov yoʻq degan maʼnoni bildiradi.