Silikon karbid (SiC) monokristalli material katta tarmoqli bo'shlig'iga ega (~Si 3 marta), yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi (~Si 3,3 marta yoki GaAs 10 marta), yuqori elektron to'yinganlik migratsiya tezligi (~Si 2,5 marta), yuqori parchalanish elektr maydon (~Si 10 marta yoki GaAs 5 marta) va boshqa ajoyib xususiyatlar.
Uchinchi avlod yarimo'tkazgich materiallari asosan SiC, GaN, olmos va boshqalarni o'z ichiga oladi, chunki uning tarmoqli bo'shlig'i kengligi (Masalan) 2,3 elektron voltdan (eV) katta yoki teng bo'lib, keng tarmoqli yarimo'tkazgich materiallari sifatida ham tanilgan. Birinchi va ikkinchi avlod yarimo'tkazgich materiallari bilan taqqoslaganda, uchinchi avlod yarimo'tkazgich materiallari yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi, yuqori parchalanish elektr maydoni, yuqori to'yingan elektron migratsiya tezligi va yuqori bog'lanish energiyasining afzalliklariga ega bo'lib, ular zamonaviy elektron texnologiyaning yangi talablariga javob berishi mumkin. harorat, yuqori quvvat, yuqori bosim, yuqori chastotali va radiatsiya qarshiligi va boshqa og'ir sharoitlar. U milliy mudofaa, aviatsiya, aerokosmik, neftni qidirish, optik saqlash va hokazo sohalarda muhim dastur istiqbollariga ega va keng polosali aloqa, quyosh energiyasi, avtomobil ishlab chiqarish kabi ko'plab strategik sohalarda energiya yo'qotilishini 50% dan ko'proq kamaytirishi mumkin. yarimo'tkazgichli yorug'lik va aqlli tarmoq va uskunalar hajmini 75% dan ko'proq qisqartirishi mumkin, bu muhim ahamiyatga ega. insoniyat fan va texnikasining rivojlanishi.
Semicera Energy mijozlarga yuqori sifatli Supero'tkazuvchilar (O'tkazuvchan), Yarim izolyatsiyalovchi (Yarim izolyatsiyalovchi), HPSI (Yuqori toza yarim izolyatsiya qiluvchi) silikon karbid substratini taqdim etishi mumkin; Bundan tashqari, biz mijozlarga bir hil va heterojen kremniy karbid epitaksial plitalar bilan ta'minlay olamiz; Shuningdek, epitaksial varaqni mijozlarning o'ziga xos ehtiyojlariga ko'ra sozlashimiz mumkin va minimal buyurtma miqdori yo'q.
| Elementlar | Ishlab chiqarish | Tadqiqot | Qo'g'irchoq |
| Kristal parametrlari | |||
| Politip | 4H | ||
| Yuzaki orientatsiya xatosi | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektr parametrlari | |||
| Dopant | n-turi azot | ||
| Qarshilik | 0,015-0,025 ohm · sm | ||
| Mexanik parametrlar | |||
| Diametri | 150,0±0,2 mm | ||
| Qalinligi | 350±25 mkm | ||
| Birlamchi tekis orientatsiya | [1-100]±5° | ||
| Birlamchi tekis uzunlik | 47,5±1,5 mm | ||
| Ikkilamchi kvartira | Yo'q | ||
| TTV | ≤5 mkm | ≤10 mkm | ≤15 mkm |
| LTV | ≤3 mkm (5mm*5mm) | ≤5 mkm (5mm*5mm) | ≤10 mkm (5mm*5mm) |
| Kamon | -15mm ~ 15mm | -35μm ~ 35μm | -45mm ~ 45mm |
| Buzilish | ≤35 mkm | ≤45 mkm | ≤55 mkm |
| Old (si-yuz) pürüzlülüğü (AFM) | Ra≤0,2nm (5mm*5mm) | ||
| Tuzilishi | |||
| Mikrotrubaning zichligi | <1 ea/sm2 | <10 ea/sm2 | <15 ea/sm2 |
| Metall aralashmalar | ≤5E10atom/sm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/sm2 | ≤3000 ea/sm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/sm2 | ≤1000 ea/sm2 | NA |
| Old Sifat | |||
| Old | Si | ||
| Yuzaki ishlov berish | Si-face CMP | ||
| Zarrachalar | ≤60ea/gofret (hajmi≥0,3 mkm) | NA | |
| Chiziqlar | ≤5ea/mm. Kümülatif uzunlik ≤Diametr | Kümülatif uzunlik≤2*Diametr | NA |
| Apelsin qobig'i / chuqurchalar / dog'lar / chiziqlar / yoriqlar / ifloslanish | Yo'q | NA | |
| Yon chiplari / chuqurchalar / sinish / olti burchakli plitalar | Yo'q | ||
| Politipli hududlar | Yo'q | Kümülatif maydon≤20% | Kümülatif maydon≤30% |
| Old lazer belgisi | Yo'q | ||
| Orqaga Sifat | |||
| Orqa tugatish | C-yuzli CMP | ||
| Chiziqlar | ≤5ea/mm,Kümülatif uzunlik≤2*Diametr | NA | |
| Orqa nuqsonlar (chekka chiplari/cheklari) | Yo'q | ||
| Orqa pürüzlülük | Ra≤0,2nm (5mm*5mm) | ||
| Orqa lazer belgilari | 1 mm (yuqori chetidan) | ||
| Chet | |||
| Chet | Chamfer | ||
| Qadoqlash | |||
| Qadoqlash | Vakuumli qadoqlash bilan epi-tayyor Ko'p gofretli kassetali qadoqlash | ||
| *Izohlar: “NA” soʻrov yoʻq degan maʼnoni bildiradi. | |||
