Ommaviy CVD SiC halqasi

Qisqacha tavsif:

Ommaviy CVD SiC halqalari xom ashyo sifatida silikon manba gazini (masalan, kremniy gidrid) va uglerod manba gazini (metan kabi) ishlatadi va katta o'lchamdagi SiC materiallarini substrat yoki qolipga joylashtirish uchun yuqori haroratda reaksiyaga kirishadi. Bu jarayon SiC ning kuchli va izchil halqa tuzilishini hosil qilib, katta maydonda bir xilda to'planishiga imkon beradi.

Bizga elektron pochta xabarini yuboring

Mahsulot detali

Mahsulot teglari

Nima uchun kremniy karbidli aşındırma halqasi?

RTPCVD SiC halqalariyuqori harorat va korroziy muhitda sanoat va ilmiy sohalarda keng qo'llaniladi. Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish, optoelektronika, nozik mashinasozlik va kimyo sanoatida muhim rol o'ynaydi. Maxsus ilovalarga quyidagilar kiradi:

1. Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish:RTP CVD SiC halqalariyarimo'tkazgichli uskunalarni isitish va sovutish uchun ishlatilishi mumkin, barqaror haroratni nazorat qilishni ta'minlaydi va jarayonning aniqligi va izchilligini ta'minlaydi.

2. Optoelektronika: Ajoyib issiqlik o'tkazuvchanligi va yuqori haroratga chidamliligi tufayli RTPCVD SiC halqalarilazerlar, optik tolali aloqa uskunalari va optik komponentlar uchun qo'llab-quvvatlash va issiqlik tarqalish materiallari sifatida ishlatilishi mumkin.

3. Nozik mashinalar: RTP CVD SiC halqalari yuqori haroratli pechlar, vakuum qurilmalari va kimyoviy reaktorlar kabi yuqori haroratli va korroziy muhitda nozik asboblar va uskunalar uchun ishlatilishi mumkin.

4. Kimyo sanoati: korroziyaga chidamliligi va kimyoviy barqarorligi tufayli RTP CVD SiC halqalari kimyoviy reaktsiyalar va katalitik jarayonlarda konteynerlar, quvurlar va reaktorlarda ishlatilishi mumkin.

Epi tizimi

RTP tizimi

CVD tizimi

Mahsulot ishlashi:

1. 28nm ostidagi jarayon bilan tanishing

2. Super korroziyaga chidamlilik

3. Super toza ishlash

4. Super qattiqlik

5. Yuqori zichlik

6. Yuqori haroratga chidamlilik

7. Aşınmaya qarshilik

Mahsulot qo'llanilishi:

Silikon karbid materiallari yuqori qattiqlik, aşınma qarshilik, korroziyaga chidamlilik va yuqori harorat barqarorligi xususiyatlariga ega. Ajoyib keng qamrovli ishlashga ega bo'lgan mahsulotlar quruq qirqish va TF / diffuziya jarayonlarida keng qo'llaniladi.