Induktiv isitiladigan epitaksi reaktor tizimi

Induktiv isitiladigan epitaksiya reaktor tizimi tavsiya etilgan rasm

Qisqacha tavsif:

Semicera turli xil epitaksiya reaktorlari uchun mo'ljallangan keng qamrovli susseptorlar va grafit komponentlarini taklif etadi.

Sanoatning yetakchi OEM’lari bilan strategik hamkorlik, keng materiallar tajribasi va ilg‘or ishlab chiqarish imkoniyatlari orqali Semicera ilovangizning o‘ziga xos talablariga javob beradigan moslashtirilgan dizaynlarni taqdim etadi. Bizning mukammallikka sodiqligimiz epitaksi reaktor ehtiyojlari uchun optimal echimlarni olishingizni ta'minlaydi.

Bizga elektron pochta xabarini yuboring

Mahsulot detali

Mahsulot teglari

Bizning kompaniyamiz taqdim etadiSiC qoplamasigrafit, keramika va boshqa materiallar yuzasida CVD usuli bo'yicha ishlov berish xizmatlari, uglerod va kremniyni o'z ichiga olgan maxsus gazlar yuqori haroratda reaksiyaga kirishib, yuqori toza Sic molekulalarini olishi mumkin, ular qoplangan materiallar yuzasiga yotqizilishi mumkin.SiC himoya qatlamibarrel turi hypnotic uchun.

Asosiy xususiyatlar:

1 .Yuqori toza SiC qoplangan grafit

2. Yuqori issiqlikka chidamlilik va termal bir xillik

3. YaxshiSiC kristalli bilan qoplangansilliq sirt uchun

4. Kimyoviy tozalashga nisbatan yuqori chidamlilik

Induktiv isitiladigan epitaksiya (LPE) reaktor tizimi

ning asosiy texnik xususiyatlariCVD-SIC qoplamasi

SiC-CVD xususiyatlari
Kristal tuzilishi	FCC b fazasi
Zichlik	g/sm³	3.21
Qattiqlik	Vickers qattiqligi	2500
Don hajmi	mkm	2~10
Kimyoviy tozalik	%	99.99995
Issiqlik quvvati	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimatsiya harorati	℃	2700
Feleksual kuch	MPa (RT 4 ball)	415
Yosh moduli	Gpa (4pt egilish, 1300℃)	430
Termal kengayish (CTE)	10-6K-1	4.5
Issiqlik o'tkazuvchanligi	(Vt/mK)	300