GaN epitaksiyasi

Qisqacha tavsif:

GaN Epitaxy yuqori samaradorlik, issiqlik barqarorligi va ishonchlilikni ta'minlovchi yuqori samarali yarimo'tkazgichli qurilmalarni ishlab chiqarishda poydevor hisoblanadi. Semicera kompaniyasining GaN Epitaxy yechimlari har bir qatlamda yuqori sifat va mustahkamlikni ta'minlab, ilg'or ilovalar talablariga javob berishga mo'ljallangan.


Mahsulot detali

Mahsulot teglari

Semicerao‘zining ilg‘or ilg‘orlarini g‘urur bilan taqdim etadiGaN epitaksiyasiyarimo'tkazgich sanoatining doimiy rivojlanib borayotgan ehtiyojlarini qondirish uchun mo'ljallangan xizmatlar. Galiy nitridi (GaN) o'zining ajoyib xususiyatlari bilan mashhur bo'lgan materialdir va bizning epitaksial o'sish jarayonlarimiz ushbu afzalliklar sizning qurilmalaringizda to'liq amalga oshirilishini ta'minlaydi.

Yuqori samarali GaN qatlamlari Semicerasifatli mahsulotlar ishlab chiqarishga ixtisoslashganGaN epitaksiyasiqatlamlar, misli ko'rilmagan material tozaligi va strukturaviy yaxlitlikni ta'minlaydi. Ushbu qatlamlar yuqori ishlash va ishonchlilik muhim bo'lgan quvvat elektronikasidan optoelektronikagacha bo'lgan turli xil ilovalar uchun juda muhimdir. Bizning aniq o'stirish texnikamiz har bir GaN qatlami zamonaviy qurilmalar uchun talab qilinadigan qat'iy standartlarga javob berishini ta'minlaydi.

Samaradorlik uchun optimallashtirilganTheGaN epitaksiyasiSemicera tomonidan taqdim etilgan elektron komponentlaringiz samaradorligini oshirish uchun maxsus ishlab chiqilgan. Kam nuqsonli, yuqori tozalikdagi GaN qatlamlarini yetkazib berish orqali biz qurilmalarning yuqori chastotalar va kuchlanishlarda ishlashiga imkon beramiz, bunda quvvat yo‘qotilishi kamayadi. Ushbu optimallashtirish yuqori elektronli harakatchan tranzistorlar (HEMT) va yorug'lik chiqaradigan diodlar (LED) kabi ilovalar uchun kalit bo'lib, bu erda samaradorlik birinchi o'rinda turadi.

Ko'p tomonlama amaliy potentsial SemiceraningGaN epitaksiyasiko'p qirrali bo'lib, sanoat va ilovalarning keng doirasiga mos keladi. Quvvat kuchaytirgichlari, RF komponentlari yoki lazerli diodlarni ishlab chiqarasizmi, bizning GaN epitaksial qatlamlarimiz yuqori unumdorlik va ishonchli qurilmalar uchun zarur bo'lgan poydevorni ta'minlaydi. Bizning jarayonimiz mahsulotlaringiz optimal natijalarga erishishini ta'minlab, muayyan talablarga javob berishi mumkin.

Sifatga sodiqlikSifat asos toshi hisoblanadiSemiceraning yondashuviGaN epitaksiyasi. Biz mukammal bir xillik, past nuqson zichligi va yuqori material xususiyatlarini namoyish qiluvchi GaN qatlamlarini ishlab chiqarish uchun ilg'or epitaksial o'sish texnologiyalari va qat'iy sifat nazorati choralaridan foydalanamiz. Sifatga bo'lgan bunday majburiyat sizning qurilmalaringiz nafaqat sanoat standartlariga javob berishini, balki undan ham oshib ketishini ta'minlaydi.

O'sishning innovatsion usullari Semicerasohasida innovatsiyalar bo‘yicha yetakchi hisoblanadiGaN epitaksiyasi. Bizning jamoamiz doimiy ravishda o'sish jarayonini yaxshilash uchun yangi usullar va texnologiyalarni o'rganadi, GaN qatlamlarini yaxshilangan elektr va issiqlik xususiyatlariga ega. Ushbu innovatsiyalar yangi avlod ilovalari talablarini qondirishga qodir, yaxshi ishlaydigan qurilmalarga aylanadi.

Loyihalaringiz uchun moslashtirilgan yechimlarHar bir loyihaning o'ziga xos talablari borligini tan olib,Semiceramoslashtirilgan takliflarGaN epitaksiyasiyechimlar. Sizga maxsus doping profillari, qatlam qalinligi yoki sirt qoplamalari kerak bo'ladimi, biz sizning aniq ehtiyojlaringizga javob beradigan jarayonni ishlab chiqish uchun siz bilan yaqindan hamkorlik qilamiz. Bizning maqsadimiz sizga qurilmangizning ishlashi va ishonchliligini qo'llab-quvvatlash uchun aniq ishlab chiqilgan GaN qatlamlarini taqdim etishdir.

Elementlar

Ishlab chiqarish

Tadqiqot

Qo'g'irchoq

Kristal parametrlari

Politip

4H

Yuzaki orientatsiya xatosi

<11-20 >4±0,15°

Elektr parametrlari

Dopant

n-turi azot

Qarshilik

0,015-0,025 ohm · sm

Mexanik parametrlar

Diametri

150,0±0,2 mm

Qalinligi

350±25 mkm

Birlamchi tekis orientatsiya

[1-100]±5°

Birlamchi tekis uzunlik

47,5±1,5 mm

Ikkilamchi kvartira

Yo'q

TTV

≤5 mkm

≤10 mkm

≤15 mkm

LTV

≤3 mkm (5mm*5mm)

≤5 mkm (5mm*5mm)

≤10 mkm (5mm*5mm)

Kamon

-15mm ~ 15mm

-35μm ~ 35μm

-45mm ~ 45mm

Buzilish

≤35 mkm

≤45 mkm

≤55 mkm

Old (si-yuz) pürüzlülüğü (AFM)

Ra≤0,2nm (5mm*5mm)

Tuzilishi

Mikrotrubaning zichligi

<1 ea/sm2

<10 ea/sm2

<15 ea/sm2

Metall aralashmalar

≤5E10atom/sm2

NA

BPD

≤1500 ea/sm2

≤3000 ea/sm2

NA

TSD

≤500 ea/sm2

≤1000 ea/sm2

NA

Old Sifat

Old

Si

Yuzaki ishlov berish

Si-face CMP

Zarrachalar

≤60ea/gofret (hajmi≥0,3 mkm)

NA

Chiziqlar

≤5ea/mm. Kümülatif uzunlik ≤Diametr

Kümülatif uzunlik≤2*Diametr

NA

Apelsin qobig'i / chuqurchalar / dog'lar / chiziqlar / yoriqlar / ifloslanish

Yo'q

NA

Yon chiplari / chuqurchalar / sinish / olti burchakli plitalar

Yo'q

Politipli hududlar

Yo'q

Kümülatif maydon≤20%

Kümülatif maydon≤30%

Old lazer belgisi

Yo'q

Orqaga Sifat

Orqa tugatish

C-yuzli CMP

Chiziqlar

≤5ea/mm,Kümülatif uzunlik≤2*Diametr

NA

Orqa nuqsonlar (chekka chiplari/cheklari)

Yo'q

Orqa pürüzlülük

Ra≤0,2nm (5mm*5mm)

Orqa lazer belgilari

1 mm (yuqori chetidan)

Chet

Chet

Chamfer

Qadoqlash

Qadoqlash

Vakuumli qadoqlash bilan epi-tayyor

Ko'p gofretli kassetali qadoqlash

*Izohlar: “NA” soʻrov yoʻq degan maʼnoni bildiradi.

tech_1_2_size
SiC gofretlari

  • Oldingi:
  • Keyingisi: