Yuqori toza SiC tashuvchisi/suseptor

Yuqori tozalikdagi SiC tashuvchisi/so'rg'ichli Tavsiya etilgan rasm

Qisqacha tavsif:

Silikon karbidli rulmanli disk, shuningdek, SIC tepsisi, kremniy karbidli yotqizish diski, ICP etching diski sifatida ham tanilgan. Silikon karbidli tovoqlar diodli nurlanish uchun (SiC tray) ph600mm chuqur kremniy bilan qirqish uchun maxsus aksessuardir (ICP etching mashinasi).

Bizga elektron pochta xabarini yuboring

Mahsulot detali

Mahsulot teglari

Tavsif

Silikon karbidli keramika xona haroratida yuqori quvvat, yuqori qattiqlik, yuqori elastik modul va boshqalar kabi mukammal mexanik xususiyatlarga ega, shuningdek, yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi, past issiqlik kengayish koeffitsienti va yaxshi o'ziga xos qattiqlik va optik kabi mukammal yuqori harorat barqarorligiga ega. ishlov berish samaradorligi.
Ular, ayniqsa, SiC tashuvchisi / qabul qiluvchisi, SiC gofret qayig'i, so'rg'ich diski, suv sovutish plitasi, nozik o'lchov reflektori, panjara va boshqa seramika strukturaviy qismlarini ishlab chiqarish uchun ishlatiladigan litografiya mashinalari kabi integral mikrosxemalar uchun nozik keramik qismlarni ishlab chiqarish uchun ayniqsa mos keladi.

tashuvchi 2

tashuvchi 3

tashuvchi 4

Afzalliklar

Yuqori harorat qarshiligi: 1800 ℃ da normal foydalanish
Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi: grafit materialiga teng
Yuqori qattiqlik: qattiqlik faqat olmos, bor nitrididan keyin ikkinchi o'rinda turadi
Korroziyaga chidamlilik: kuchli kislota va gidroksidi korroziyaga ega emas, korroziyaga chidamliligi volfram karbid va aluminadan yaxshiroqdir.
Engil vazn: past zichlik, alyuminiyga yaqin
Deformatsiya yo'q: issiqlik kengayishining past koeffitsienti
Termal zarba qarshiligi: haroratning keskin o'zgarishiga bardosh bera oladi, termal zarbaga qarshi turadi va barqaror ishlashga ega.
Silikon karbid tashuvchisi, masalan, sic etching tashuvchisi, ICP etching susceptor, yarimo'tkazgichli CVD, vakuumli püskürtme va hokazolarda keng qo'llaniladi. Biz mijozlarga turli xil ilovalarni qondirish uchun kremniy va kremniy karbid materiallaridan tayyorlangan gofret tashuvchilarni taqdim eta olamiz.

Afzalliklar

Mulk	Qiymat	Usul
Zichlik	3,21 g/cc	Sink-float va o'lcham
Maxsus issiqlik	0,66 J/g °K	Impulsli lazer chirog'i
Bukilish kuchi	450 MPa 560 MPa	4 nuqtali egilish, RT4 nuqtali egilish, 1300 °
Sinishi qattiqligi	2,94 MPa m1/2	Mikroindentatsiya
Qattiqlik	2800	Vicker's, 500 g yuk
Elastik modul Yosh moduli	450 GPa430 GPa	4 pt egilish, RT4 pt egilish, 1300 °C
Don hajmi	2 – 10 mkm	SEM

Kompaniya profili

WeiTai Energy Technology Co., Ltd ilg'or yarimo'tkazgichli keramika yetkazib beruvchi va Xitoyda bir vaqtning o'zida yuqori toza silikon karbid keramika (ayniqsa, qayta kristallangan SiC) va CVD SiC qoplamasini ta'minlay oladigan yagona ishlab chiqaruvchi hisoblanadi. Bundan tashqari, bizning kompaniyamiz alyuminiy oksidi, alyuminiy nitridi, tsirkoniya va kremniy nitridi kabi keramika maydonlariga ham sodiqdir.

Bizning asosiy mahsulotlarimiz, shu jumladan: silikon karbidli silliqlash diski, kremniy karbidli qayiq, kremniy karbid gofretli qayiq (Fotovoltaik va yarim o'tkazgich), kremniy karbidli pech trubkasi, kremniy karbid konsolli belkurak, kremniy karbid shtutserlari, kremniy karbid nurlari, shuningdek, Silikon karbid nurlari, shuningdek, Silikon karbid nurlari qoplama. Asosan yarimo'tkazgich va fotovoltaik sanoatda ishlatiladigan mahsulotlar, masalan, kristall o'sishi uchun uskunalar, epitaksiya, o'rash, qadoqlash, qoplama va diffuziya pechlari va boshqalar.
taxminan (2)