LED sanoatida ICP etching jarayonlari uchun SiC pinli tovoqlar

Qisqacha tavsif:

Silikon karbid - yuqori xarajatli ishlash va mukammal material xususiyatlariga ega bo'lgan yangi turdagi keramika. Yuqori kuch va qattiqlik, yuqori haroratga chidamlilik, katta issiqlik o'tkazuvchanligi va kimyoviy korroziyaga chidamlilik kabi xususiyatlar tufayli silikon karbid deyarli barcha kimyoviy muhitga bardosh bera oladi. Shu sababli, SiC neft qazib olish, kimyo, mashinasozlik va havo bo'shlig'ida keng qo'llaniladi, hatto yadroviy energiya va harbiylar ham SICga alohida talablarga ega.

Biz sifatli va oqilona yetkazib berish muddati bilan sizning o'ziga xos o'lchamlaringiz bo'yicha loyihalash va ishlab chiqarish imkoniyatiga egamiz.


Mahsulot detali

Mahsulot teglari

Mahsulot tavsifi

Kompaniyamiz grafit, keramika va boshqa materiallar yuzasida CVD usuli bo'yicha SiC qoplama jarayoni xizmatlarini taqdim etadi, shuning uchun uglerod va kremniy o'z ichiga olgan maxsus gazlar yuqori haroratda reaksiyaga kirishib, yuqori toza SiC molekulalarini, qoplangan materiallar yuzasiga yotqizilgan molekulalarni, SIC himoya qatlamini hosil qiladi.

Asosiy xususiyatlar:

1. Yuqori haroratli oksidlanish qarshiligi:

harorat 1600 S gacha bo'lganida oksidlanish qarshiligi hali ham juda yaxshi.

2. Yuqori tozalik: yuqori haroratli xlorlash sharoitida kimyoviy bug'larni cho'ktirish orqali amalga oshiriladi.

3. Eroziyaga chidamlilik: yuqori qattiqlik, ixcham sirt, nozik zarralar.

4. Korroziyaga chidamliligi: kislota, gidroksidi, tuz va organik reagentlar.

Silikon karbid bilan ishlangan disk (2)

CVD-SIC qoplamasining asosiy xususiyatlari

SiC-CVD xususiyatlari

Kristal tuzilishi

FCC b fazasi

Zichlik

g/sm³

3.21

Qattiqlik

Vickers qattiqligi

2500

Don hajmi

mkm

2~10

Kimyoviy tozalik

%

99.99995

Issiqlik quvvati

J·kg-1 ·K-1

640

Sublimatsiya harorati

2700

Feleksual kuch

MPa (RT 4 ball)

415

Yosh moduli

Gpa (4pt egilish, 1300℃)

430

Termal kengayish (CTE)

10-6K-1

4.5

Issiqlik o'tkazuvchanligi

(Vt/mK)

300

Semicera ish joyi
Semicera ish joyi 2
Uskunalar mashinasi
CNNni qayta ishlash, kimyoviy tozalash, CVD qoplamasi
Bizning xizmatimiz

  • Oldingi:
  • Keyingisi: