LED sanoatida ICP etching jarayonlari uchun SiC pinli tovoqlar

Qisqacha tavsif:

LED sanoatida ICP qirqish jarayonlari uchun Semicera kompaniyasining SiC pinli tovoqlar maxsus ishlov berishda samaradorlik va aniqlikni oshirish uchun mo'ljallangan. Yuqori sifatli kremniy karbiddan tayyorlangan bu pin tovoqlar mukammal termal barqarorlik, kimyoviy qarshilik va mexanik kuchga ega. LED ishlab chiqarish jarayonining talabchan sharoitlari uchun ideal bo'lgan Semicera'ning SiC pinli tovoqlar bir xil ishlov berishni ta'minlaydi, ifloslanishni kamaytiradi va jarayonning umumiy ishonchliligini oshiradi va yuqori sifatli LED ishlab chiqarishga hissa qo'shadi.


Mahsulot detali

Mahsulot teglari

Mahsulot tavsifi

Kompaniyamiz grafit, keramika va boshqa materiallar yuzasida CVD usuli bo'yicha SiC qoplama jarayoni xizmatlarini taqdim etadi, shuning uchun uglerod va kremniy o'z ichiga olgan maxsus gazlar yuqori haroratda reaksiyaga kirishib, yuqori toza SiC molekulalarini, qoplangan materiallar yuzasiga yotqizilgan molekulalarni, SIC himoya qatlamini hosil qiladi.

Asosiy xususiyatlar:

1. Yuqori haroratli oksidlanish qarshiligi:

harorat 1600 S gacha bo'lganida oksidlanish qarshiligi hali ham juda yaxshi.

2. Yuqori tozalik: yuqori haroratli xlorlash sharoitida kimyoviy bug'larni cho'ktirish orqali amalga oshiriladi.

3. Eroziyaga chidamlilik: yuqori qattiqlik, ixcham sirt, nozik zarralar.

4. Korroziyaga chidamliligi: kislota, gidroksidi, tuz va organik reagentlar.

Silikon karbiddan ishlangan disk (2)

CVD-SIC qoplamasining asosiy xususiyatlari

SiC-CVD xususiyatlari

Kristal tuzilishi

FCC b fazasi

Zichlik

g/sm³

3.21

Qattiqlik

Vickers qattiqligi

2500

Don hajmi

mkm

2~10

Kimyoviy tozalik

%

99.99995

Issiqlik quvvati

J·kg-1 ·K-1

640

Sublimatsiya harorati

2700

Feleksual kuch

MPa (RT 4 ball)

415

Yosh moduli

Gpa (4pt egilish, 1300℃)

430

Termal kengayish (CTE)

10-6K-1

4.5

Issiqlik o'tkazuvchanligi

(Vt/mK)

300

Semicera ish joyi
Semicera ish joyi 2
Uskunalar mashinasi
CNNni qayta ishlash, kimyoviy tozalash, CVD qoplamasi
Bizning xizmatimiz

  • Oldingi:
  • Keyingisi: