Izostatik PECVD grafitli qayiq

Qisqacha tavsif:

Izostatik PECVD grafit qayig'i yarimo'tkazgich ishlab chiqarishning turli bo'g'inlarida, masalan, polisilikon plyonka cho'kmasi, oksid plyonkasi, nitrid plyonkasi va boshqalarda keng qo'llaniladi. Uning mukammal ishlashi uni PECVD jarayonida ideal gofret tashuvchisi qiladi.

Bizga elektron pochta xabarini yuboring

Mahsulot detali

Mahsulot teglari

SEMICERA izostatik PECVD grafit qayig‘i PECVD (plazma bilan mustahkamlangan kimyoviy bug‘ cho‘kmasi) jarayonida gofretni qo‘llab-quvvatlash uchun mo‘ljallangan yuqori toza, yuqori zichlikdagi grafit mahsulotidir. SEMICERA grafit qayig'ining mukammal yuqori haroratga chidamliligi, korroziyaga chidamliligi, o'lchovli barqarorligi va yaxshi issiqlik o'tkazuvchanligiga ega bo'lishini ta'minlash uchun ilg'or izostatik presslash texnologiyasidan foydalanadi, bu esa yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonida ajralmas sarflanadi.

SEMICERA izostatik PECVD grafitli qayiq quyidagi afzalliklarga ega:

▪ Yuqori tozalik: Gofret yuzasining ifloslanishini oldini olish uchun grafit materiali yuqori toza va past ifloslik tarkibiga ega.

▪ Yuqori zichlik: Yuqori zichlik, yuqori mexanik kuch, yuqori harorat va yuqori vakuum muhitiga bardosh bera oladi.

▪ Yaxshi o'lchamli barqarorlik: jarayon barqarorligini ta'minlash uchun yuqori haroratda kichik o'lchamli o'zgarish.

▪ Zo'r issiqlik o'tkazuvchanligi: gofretning qizib ketishining oldini olish uchun issiqlikni samarali o'tkazing.

▪ Kuchli korroziyaga chidamlilik: turli korroziy gazlar va plazma eroziyasiga qarshi turishga qodir.

Ishlash parametri	yarim keramika	SGL R6510	Ishlash parametri
Ommaviy zichlik (g/sm3)	1.91	1.83	1.85
Bükme kuchi (MPa)	63	60	49
Siqilish kuchi (MPa)	135	130	103
Sohil qattiqligi (HS)	70	64	60
Issiqlik kengayish koeffitsienti (10-6 / K)	85	105	130
Issiqlik kengayish koeffitsienti (10-6 / K)	5.85	4.2	5.0
Qarshilik (mkm)	11-13	13	10

Bizni tanlashning afzalliklari:
▪ Materiallarni tanlash: Mahsulot sifatini ta'minlash uchun yuqori tozalikdagi grafit materiallari ishlatiladi.
▪ Qayta ishlash texnologiyasi: mahsulot zichligi va bir xilligini ta'minlash uchun izostatik presslash qo'llaniladi.
▪ Hajmi moslashtirish: Har xil o'lcham va shakldagi grafit qayiqlari mijozlar ehtiyojlariga ko'ra moslashtirilishi mumkin.
▪ Yuzaki ishlov berish: Turli xil jarayon talablariga javob beradigan silikon karbid, bor nitridi va boshqalarni qoplash kabi turli sirt ishlov berish usullari taqdim etiladi.