Sublimatsiya usuli orqali CVD-SiC ommaviy manbasidan foydalangan holda SiC yagona kristalining tez o'sishi SiC manbai sifatida qayta ishlangan CVD-SiC bloklaridan foydalangan holda, SiC kristallari PVT usuli orqali 1,46 mm/soat tezlikda muvaffaqiyatli o'stirildi. O'sgan kristallning mikrotrubkasi va dislokatsiya zichligi shuni ko'rsatadiki, ...
Ko'proq o'qish