QISM/1CVD (Kimyoviy bug'larni cho'ktirish) usuli: 900-2300 ℃ da, tantal va uglerod manbalari sifatida TaCl5 va CnHm, qaytaruvchi atmosfera sifatida H₂, Ar₂as tashuvchi gaz, reaksiya cho'kma plyonkasi. Tayyorlangan qoplama ixcham, bir xil va yuqori tozalikka ega. Biroq, ba'zi muammolar mavjud ...
Ko'proq o'qish