Fotorezist hozirgi vaqtda optoelektronik axborot sanoatida nozik grafik sxemalarni qayta ishlash va ishlab chiqarishda keng qo'llaniladi. Fotolitografiya jarayonining narxi butun chip ishlab chiqarish jarayonining taxminan 35% ni tashkil qiladi va vaqt sarfi butun chip jarayonining 40% dan 60% gacha. Bu yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishning asosiy jarayonidir. Fotorezist materiallari chip ishlab chiqarish materiallarining umumiy qiymatining taxminan 4% ni tashkil qiladi va yarimo'tkazgichli integral mikrosxemalarni ishlab chiqarish uchun asosiy materiallardir.
Xitoyning fotorezist bozorining o'sish sur'ati xalqaro darajadan yuqori. Istiqbolli sanoat tadqiqot instituti ma'lumotlariga ko'ra, 2019 yilda mening mamlakatimning mahalliy fotorezist ta'minoti taxminan 7 milliard yuanni tashkil etdi va 2010 yildan beri birikma o'sish sur'ati 11 foizga yetdi, bu global o'sish sur'atidan ancha yuqori. Biroq, mahalliy ta'minot global ulushning atigi 10% ni tashkil qiladi va mahalliy almashtirish asosan past darajadagi PCB fotorezistlari uchun erishildi. LCD va yarimo'tkazgich maydonlarida fotorezistlarning o'zini o'zi ta'minlash darajasi juda past.
Fotorezist - bu niqob naqshini substratga o'tkazish uchun yorug'lik reaktsiyasidan keyin turli xil eruvchanlikdan foydalanadigan grafik uzatish vositasi. U asosan fotosensitiv agent (fotoinitiator), polimerizator (fotosensitiv qatron), erituvchi va qo'shimchalardan iborat.
Fotorezistning xom ashyosi asosan qatron, erituvchi va boshqa qo'shimchalardir. Ular orasida hal qiluvchi eng katta ulushga to'g'ri keladi, odatda 80% dan ortiq. Boshqa qo'shimchalar massaning 5% dan kamrog'ini tashkil qilsa-da, ular fotorezistning noyob xususiyatlarini, jumladan, fotosensibilizatorlar, sirt faol moddalar va boshqa materiallarni aniqlaydigan asosiy materiallardir. Fotolitografiya jarayonida fotorezist kremniy gofret, shisha va metall kabi turli substratlarga teng ravishda qoplanadi. Ta'sir qilish, ishlab chiqish va chizishdan so'ng, niqobdagi naqsh niqobga to'liq mos keladigan geometrik naqsh hosil qilish uchun plyonkaga o'tkaziladi.
Fotorezistni quyi oqimdagi qo'llash sohalariga ko'ra uchta toifaga bo'lish mumkin: yarimo'tkazgich fotorezisti, panel fotorezisti va PCB fotorezisti.
Yarimo'tkazgichli fotorezist
Hozirgi vaqtda KrF / ArF hali ham asosiy ishlov berish materialidir. Integral mikrosxemalar rivojlanishi bilan fotolitografiya texnologiyasi G-line (436nm) litografiya, H-line (405nm) litografiya, I-line (365nm) litografiya, chuqur ultrabinafsha DUV litografiyasi (KrF248nm va ArF193nm)gacha bo'lgan rivojlanishdan o'tdi. 193nm immersion va bir nechta tasvirlash texnologiyasi (32nm-7nm), so'ngra haddan tashqari ultrabinafsha (EUV, <13,5nm) litografiya va hatto optik bo'lmagan litografiya (elektron nurlari ta'siri, ion nurlari ta'siri) va fotosensitiv to'lqin uzunliklari sifatida mos keladigan to'lqin uzunliklariga ega bo'lgan turli xil fotorezistlar ham mavjud. qo'llaniladi.
Fotorezist bozori yuqori darajadagi sanoat konsentratsiyasiga ega. Yaponiya kompaniyalari yarimo'tkazgichli fotorezistlar sohasida mutlaq ustunlikka ega. Asosiy yarimo'tkazgich fotorezist ishlab chiqaruvchilari Yaponiyada Tokyo Ohka, JSR, Sumitomo Chemical, Shin-Etsu Chemical; Janubiy Koreyadagi Dongjin Semiconductor; va Qo'shma Shtatlardagi DowDuPont, ular orasida yapon kompaniyalari bozor ulushining taxminan 70% ni egallaydi. Mahsulotlar bo'yicha Tokio Ohka g-line/i-line va Krf fotorezistlar sohalarida yetakchilik qiladi, bozor ulushi mos ravishda 27,5% va 32,7%. JSR Arf fotorezist sohasida eng yuqori bozor ulushiga ega, 25,6%.
Fuji Economic prognozlariga ko'ra, global ArF va KrF elim ishlab chiqarish quvvati 2023 yilda 1870 va 3650 tonnaga yetishi kutilmoqda, bozor hajmi qariyb 4,9 milliard va 2,8 milliard yuanga teng. Yaponiya fotorezist yetakchilari JSR va TOKning yalpi foyda marjasi, shu jumladan fotorezist, taxminan 40% ni tashkil qiladi, ulardan fotorezist xom ashyosining narxi taxminan 90% ni tashkil qiladi.
Mahalliy yarimo'tkazgich fotorezist ishlab chiqaruvchilari orasida Shanxay Xinyang, Nanjing Optoelectronics, Jingrui Co., Ltd., Beijing Kehua va Hengkun Co., Ltd. Hozirda faqat Pekin Kehua va Jingrui Co., Ltd.da KrF fotorezistini ommaviy ishlab chiqarish imkoniyati mavjud. , va Pekin Kehua mahsulotlari yetkazib berildi SMIC. Shanxay Xinyan shahrida qurilayotgan yiliga 19 000 tonna ArF (quruq jarayon) fotorezist loyihasi 2022 yilda to'liq ishlab chiqarishga yetishi kutilmoqda.
Panel fotorezisti
Fotorezist LCD panel ishlab chiqarish uchun asosiy materialdir. Turli foydalanuvchilarning fikriga ko'ra, uni RGB elim, BM elim, OC elim, PS elim, TFT elim va boshqalarga bo'lish mumkin.
Panel fotorezistlari asosan to'rtta toifani o'z ichiga oladi: TFT simli fotorezistlar, LCD/TP spacer fotorezistlari, rangli fotorezistlar va qora fotorezistlar. Ular orasida TFT simli fotorezistlar ITO simlari uchun ishlatiladi va LCD / TP yog'ingarchilik fotorezistlari LCD ning ikkita shisha tagliklari orasidagi suyuq kristall materialning qalinligini doimiy ravishda ushlab turish uchun ishlatiladi. Rangli fotorezistlar va qora fotorezistlar rang filtrlariga rang berish funksiyalarini berishi mumkin.
Panel fotorezistlar bozori barqaror bo'lishi kerak va rangli fotorezistlarga bo'lgan talab etakchi hisoblanadi. 2022 yilda global sotuvlar 22,900 tonnaga, sotuvlar esa 877 million AQSh dollariga yetishi kutilmoqda.
2022 yilda TFT panel fotorezistlari, LCD/TP spacer fotorezistlari va qora fotorezistlar sotuvi mos ravishda 321 million AQSh dollari, 251 million AQSh dollari va 199 million AQSh dollariga yetishi kutilmoqda. Zhiyan Consulting hisob-kitoblariga ko'ra, panel fotorezistlari global bozor hajmiga etadi. 2020 yilda 16,7 milliard RMB, o'sish sur'ati taxminan 4% ni tashkil qiladi. Bizning hisob-kitoblarga ko'ra, fotorezist bozori 2025 yilga kelib 20,3 milliard RMBga etadi. Ularning orasida LCD sanoat markazining o'tkazilishi bilan mamlakatimizda LCD fotorezistining bozor hajmi va mahalliylashtirish darajasi asta-sekin o'sishi kutilmoqda.
PCB fotorezisti
PCB fotorezistini qoplama usuliga ko'ra UV davolovchi siyoh va UV purkagich siyohiga bo'lish mumkin. Hozirgi vaqtda mahalliy PCB siyoh yetkazib beruvchilari asta-sekin mahalliy almashtirishga erishdilar va Rongda Photosensitive va Guangxin Materials kabi kompaniyalar PCB siyohining asosiy texnologiyalarini o'zlashtirdilar.
Mahalliy TFT fotorezist va yarimo'tkazgich fotorezist hali ham dastlabki tadqiqot bosqichida. Jingrui Co., Ltd., Yak Technology, Yongtai Technology, Rongda Photosensitive, Xinyihua, China Electronics Rainbow va Feikai Materials TFT fotorezisti sohasida tartiblarga ega. Ular orasida Feikai Materials va Beixu Electronics yiliga 5000 tonnagacha ishlab chiqarish quvvatini rejalashtirilgan. Yak Technology LG Chem kompaniyasining rangli fotorezistlar bo'linmasini sotib olib, ushbu bozorga kirdi va kanallar va texnologiyada afzalliklarga ega.
Fotorezist kabi o'ta yuqori texnik to'siqlarga ega bo'lgan tarmoqlar uchun texnik darajadagi yutuqlarga erishish asos bo'lib, ikkinchidan, yarimo'tkazgich sanoatining jadal rivojlanishi ehtiyojlarini qondirish uchun jarayonlarni doimiy ravishda takomillashtirish talab etiladi.
Mahsulot haqida ma'lumot va maslahat olish uchun veb-saytimizga xush kelibsiz.
Yuborilgan vaqt: 27-noyabr-2024