SiC substratlarini qayta ishlashning asosiy bosqichlari qanday?

 

SiC substratlarini qanday ishlab chiqarish va qayta ishlash bosqichlari quyidagicha:

 

1. Kristal orientatsiyasi:

Kristal ingotni yo'naltirish uchun rentgen nurlari diffraktsiyasidan foydalanish. Rentgen nurlari kerakli kristall yuzga yo'naltirilganda, diffraksiyalangan nurning burchagi kristall yo'nalishini aniqlaydi.

 

2. Tashqi diametrli silliqlash:

Grafit tigellarda yetishtirilgan monokristallar odatda standart diametrlardan oshib ketadi. Tashqi diametrli silliqlash ularni standart o'lchamlarga qisqartiradi.

 

 

3.End yuz silliqlash:

4 dyuymli 4H-SiC substratlari odatda ikkita joylashishni aniqlash qirralariga ega, asosiy va ikkilamchi. Yakuniy yuzni silliqlash bu joylashishni aniqlash qirralarini ochadi.

 

4. Tel arralash:

Tel arralash 4H-SiC substratlarini qayta ishlashda hal qiluvchi qadamdir. Tel arralash paytida yuzaga kelgan yoriqlar va er osti shikastlanishlari keyingi jarayonlarga salbiy ta'sir ko'rsatadi, ishlov berish vaqtini uzaytiradi va moddiy yo'qotishlarga olib keladi. Eng keng tarqalgan usul - olmosli abraziv bilan ko'p simli arralash. 4H-SiC ingotini kesish uchun olmosli abrazivlar bilan bog'langan metall simlarning o'zaro harakatlanishi qo'llaniladi.

 

5. Paxta kesish:

Keyingi jarayonlarda chekka parchalanishining oldini olish va sarflanadigan yo'qotishlarni kamaytirish uchun sim bilan kesilgan chiplarning o'tkir qirralari belgilangan shakllar bo'yicha kesiladi.

 

6. Yupqalash:

Tel arralash ko'plab tirnalgan joylarni va er osti shikastlanishlarini qoldiradi. Bu nuqsonlarni iloji boricha olib tashlash uchun olmosli g'ildiraklar yordamida yupqalash amalga oshiriladi.

 

7. Silliqlash:

Bu jarayon qoldiq shikastlanishlar va yupqalash paytida paydo bo'lgan yangi shikastlanishlarni olib tashlash uchun kichikroq o'lchamdagi bor karbid yoki olmos abrazivlari yordamida qo'pol silliqlash va nozik silliqlashni o'z ichiga oladi.

 

8. Jilolash:

Yakuniy bosqichlar alumina yoki silikon oksidi abraziv moddalar yordamida qo'pol abraziv va nozik abrazivni o'z ichiga oladi. Jilolash suyuqligi sirtni yumshatadi, so'ngra abraziv moddalar bilan mexanik ravishda chiqariladi. Ushbu qadam silliq va buzilmagan sirtni ta'minlaydi.

 

9. Tozalash:

Qayta ishlash bosqichlarida qolgan zarralar, metallar, oksidli plyonkalar, organik qoldiqlar va boshqa ifloslantiruvchi moddalarni olib tashlash.