beritigelkonteyner sifatida ishlatiladi va uning ichida konveksiya mavjud, chunki hosil bo'lgan monokristalning o'lchami ortib boradi, issiqlik konvektsiyasi va harorat gradientining bir xilligini nazorat qilish qiyinlashadi. Supero'tkazuvchilar eritmani Lorentz kuchiga ta'sir qilish uchun magnit maydonni qo'shib, yuqori sifatli monokristalli kremniy ishlab chiqarish uchun konveksiya sekinlashishi yoki hatto yo'q qilinishi mumkin.
Magnit maydon turiga ko'ra, uni gorizontal magnit maydon, vertikal magnit maydon va CUSP magnit maydoniga bo'lish mumkin:
Vertikal magnit maydon tizimli sabablarga ko'ra asosiy konvektsiyani bartaraf eta olmaydi va kamdan-kam qo'llaniladi.
Gorizontal magnit maydonning magnit maydoni komponentining yo'nalishi asosiy issiqlik konvektsiyasiga va tigel devorining qisman majburiy konvektsiyasiga perpendikulyar bo'lib, bu harakatni samarali ravishda inhibe qilishi, o'sish interfeysining tekisligini saqlab turishi va o'sish chiziqlarini kamaytirishi mumkin.
CUSP magnit maydoni simmetriyasi tufayli eritmaning bir tekis oqimi va issiqlik uzatilishiga ega, shuning uchun vertikal va CUSP magnit maydonlari bo'yicha tadqiqotlar birgalikda olib borilmoqda.
Xitoyda Sian Texnologiya Universiteti ilgari magnit maydonlardan foydalangan holda kremniy monokristallarini ishlab chiqarish va kristall tortish tajribalarini amalga oshirdi. Uning asosiy mahsulotlari 6-8 dyuymli mashhur turlar bo'lib, ular quyosh fotovoltaik xujayralari uchun silikon gofret bozoriga qaratilgan. Xorijiy mamlakatlarda, masalan, Amerika Qo'shma Shtatlaridagi KAYEX va Germaniyadagi CGS, ularning asosiy mahsulotlari 8-16 dyuym bo'lib, ular ultra keng ko'lamli integral mikrosxemalar va yarimo'tkazgichlar darajasida yagona kristalli silikon novdalar uchun mos keladi. Ular katta diametrli yuqori sifatli monokristallarning o'sishi uchun magnit maydonlar sohasida monopoliyaga ega va eng vakili hisoblanadi.
Yagona kristalli o'sish tizimining tigel sohasidagi magnit maydon taqsimoti magnitning eng muhim qismidir, shu jumladan tigel chetidagi magnit maydonning kuchi va bir xilligi, tigel markazi va tegishli suyuqlik yuzasidan past masofa. Umumiy gorizontal va bir xil ko'ndalang magnit maydon, magnit kuch chiziqlari kristall o'sish o'qiga perpendikulyar. Magnit effekt va Amper qonuniga ko'ra, bobin tigelning chetiga eng yaqin joylashgan va maydon kuchi eng katta. Masofa ortishi bilan havo magnit qarshiligi oshadi, maydon kuchi asta-sekin kamayadi va u markazda eng kichikdir.
Supero'tkazuvchi magnit maydonning roli
Termal konvektsiyani inhibe qilish: tashqi magnit maydon bo'lmasa, eritilgan kremniy isitish vaqtida tabiiy konveksiya hosil qiladi, bu esa aralashmalarning notekis taqsimlanishiga va kristall nuqsonlarning shakllanishiga olib kelishi mumkin. Tashqi magnit maydon bu konvektsiyani bostirishi mumkin, bu eritma ichidagi harorat taqsimotini yanada bir xil qiladi va aralashmalarning notekis taqsimlanishini kamaytiradi.
Kristal o'sish tezligini nazorat qilish: magnit maydon kristall o'sish tezligi va yo'nalishiga ta'sir qilishi mumkin. Magnit maydonning kuchini va taqsimlanishini aniq nazorat qilish orqali kristall o'sish jarayonini optimallashtirish va kristalning yaxlitligi va bir xilligini yaxshilash mumkin. Yagona kristalli kremniyning o'sishi jarayonida kislorod kremniy eritmasiga asosan eritma va tigelning nisbiy harakati orqali kiradi. Magnit maydon eritmaning konvektsiyasini kamaytirish orqali silikon eritmasi bilan kislorod bilan aloqa qilish imkoniyatini kamaytiradi va shu bilan kislorodning erishini kamaytiradi. Ba'zi hollarda tashqi magnit maydon eritmaning termodinamik sharoitlarini o'zgartirishi mumkin, masalan, eritmaning sirt tarangligini o'zgartirish orqali kislorodning uchuvchanligiga yordam beradi va shu bilan eritmadagi kislorod miqdorini kamaytiradi.
Kislorod va boshqa aralashmalarning erishini kamaytiring: Kislorod kremniy kristallarining o'sishida keng tarqalgan aralashmalardan biri bo'lib, kristall sifatining yomonlashishiga olib keladi. Magnit maydon eritmadagi kislorod miqdorini kamaytirishi mumkin, shu bilan kristalldagi kislorodning erishini kamaytiradi va kristallning tozaligini yaxshilaydi.
Kristalning ichki tuzilishini yaxshilang: magnit maydon kristall ichidagi nuqson tuzilishiga ta'sir qilishi mumkin, masalan, dislokatsiyalar va don chegaralari. Ushbu nuqsonlar sonini kamaytirish va ularning tarqalishiga ta'sir qilish orqali kristalning umumiy sifatini yaxshilash mumkin.
Kristallarning elektr xususiyatlarini yaxshilash: kristall o'sishi paytida magnit maydonlar mikro tuzilishga sezilarli ta'sir ko'rsatganligi sababli, ular yuqori samarali yarimo'tkazgich qurilmalarini ishlab chiqarish uchun juda muhim bo'lgan qarshilik va tashuvchining ishlash muddati kabi kristallarning elektr xususiyatlarini yaxshilashi mumkin.
Keyingi munozara uchun bizga tashrif buyurish uchun butun dunyo bo'ylab mijozlarni xush kelibsiz!
https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/
Xabar vaqti: 24-iyul-2024