Semicerataklif qilishdan mamnunPFA kassetasi, kimyoviy qarshilik va chidamlilik muhim bo'lgan muhitda gofret bilan ishlash uchun eng yaxshi tanlov. Yuqori tozalikdagi Perfloroalkoksi (PFA) materialidan ishlab chiqarilgan ushbu kasseta yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishdagi eng qiyin sharoitlarga bardosh berishga mo'ljallangan bo'lib, gofretlaringiz xavfsizligi va yaxlitligini ta'minlaydi.
Kimyoviy qarshilikThePFA kassetasikimyoviy moddalarning keng doirasiga nisbatan yuqori qarshilikni ta'minlash uchun ishlab chiqilgan bo'lib, u agressiv kislotalar, erituvchilar va boshqa qattiq kimyoviy moddalarni o'z ichiga olgan jarayonlar uchun mukammal tanlovdir. Ushbu mustahkam kimyoviy qarshilik kassetaning eng korroziy muhitda ham buzilmasligi va ishlashini ta'minlaydi, shu bilan uning ishlash muddatini uzaytiradi va tez-tez almashtirish zaruratini kamaytiradi.
Yuqori tozalikdagi qurilishSemiceraPFA kassetasigofretni qayta ishlash jarayonida ifloslanishning oldini olishda muhim ahamiyatga ega bo'lgan ultra toza PFA materialidan ishlab chiqariladi. Ushbu yuqori toza konstruktsiya zarrachalar hosil bo'lish va kimyoviy yuvish xavfini kamaytiradi, bu sizning gofretlaringiz sifatiga putur etkazadigan aralashmalardan himoyalanganligini ta'minlaydi.
Kengaytirilgan chidamlilik va ishlashChidamlilik uchun mo'ljallangan,PFA kassetasiekstremal haroratlarda va qattiq ishlov berish sharoitida strukturaviy yaxlitligini saqlaydi. Yuqori haroratga duchor bo'ladimi yoki takroriy ishlov berishga duchor bo'ladimi, bu kasseta o'zining shakli va ishlashini saqlab qoladi va talab qilinadigan ishlab chiqarish muhitida uzoq muddatli ishonchlilikni ta'minlaydi.
Xavfsiz ishlov berish uchun nozik muhandislikTheSemicera PFA kassetasixavfsiz va barqaror gofret bilan ishlov berishni ta'minlaydigan aniq muhandislik xususiyatlariga ega. Har bir tirqish gofretlarni joyida ishonchli ushlab turish uchun ehtiyotkorlik bilan ishlab chiqilgan bo'lib, shikastlanishga olib keladigan har qanday harakat yoki siljishni oldini oladi. Ushbu nozik muhandislik gofretni izchil va aniq joylashtirishni qo'llab-quvvatlaydi va umumiy jarayon samaradorligiga hissa qo'shadi.
Jarayonlar bo'ylab ko'p qirrali dasturO'zining yuqori moddiy xususiyatlari tufayliPFA kassetasiyarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishning turli bosqichlarida foydalanish uchun etarlicha ko'p qirrali. Bu, ayniqsa, ho'l ishlov berish, kimyoviy bug'larni cho'ktirish (CVD) va qattiq kimyoviy muhitni o'z ichiga olgan boshqa jarayonlar uchun juda mos keladi. Uning moslashuvchanligi uni jarayonning yaxlitligi va gofret sifatini saqlashda muhim vositaga aylantiradi.
Sifat va innovatsiyalarga sodiqlikSemicera kompaniyasida biz eng yuqori sanoat standartlariga javob beradigan mahsulotlarni taqdim etishga intilamiz. ThePFA kassetasiSizning ishlab chiqarish jarayonlaringizga uzluksiz integratsiyalashgan ishonchli yechimni taklif qilib, ushbu majburiyatni misol qilib ko'rsatadi. Har bir kasseta bizning qat'iy ishlash mezonlariga javob berishini ta'minlash uchun qattiq sifat nazoratidan o'tadi va Semicera'dan siz kutgan mukammallikni ta'minlaydi.
| Elementlar | Ishlab chiqarish | Tadqiqot | Qo'g'irchoq |
| Kristal parametrlari | |||
| Politip | 4H | ||
| Yuzaki orientatsiya xatosi | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektr parametrlari | |||
| Dopant | n-turi azot | ||
| Qarshilik | 0,015-0,025 ohm · sm | ||
| Mexanik parametrlar | |||
| Diametri | 150,0±0,2 mm | ||
| Qalinligi | 350±25 mkm | ||
| Birlamchi tekis orientatsiya | [1-100]±5° | ||
| Birlamchi tekis uzunlik | 47,5±1,5 mm | ||
| Ikkilamchi kvartira | Yo'q | ||
| TTV | ≤5 mkm | ≤10 mkm | ≤15 mkm |
| LTV | ≤3 mkm (5mm*5mm) | ≤5 mkm (5mm*5mm) | ≤10 mkm (5mm*5mm) |
| Kamon | -15mm ~ 15mm | -35μm ~ 35μm | -45mm ~ 45mm |
| Buzilish | ≤35 mkm | ≤45 mkm | ≤55 mkm |
| Old (si-yuz) pürüzlülüğü (AFM) | Ra≤0,2nm (5mm*5mm) | ||
| Tuzilishi | |||
| Mikrotrubaning zichligi | <1 ea/sm2 | <10 ea/sm2 | <15 ea/sm2 |
| Metall aralashmalar | ≤5E10atom/sm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/sm2 | ≤3000 ea/sm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/sm2 | ≤1000 ea/sm2 | NA |
| Old Sifat | |||
| Old | Si | ||
| Yuzaki ishlov berish | Si-face CMP | ||
| Zarrachalar | ≤60ea/gofret (hajmi≥0,3 mkm) | NA | |
| Chiziqlar | ≤5ea/mm. Kümülatif uzunlik ≤Diametr | Kümülatif uzunlik≤2*Diametr | NA |
| Apelsin qobig'i / chuqurchalar / dog'lar / chiziqlar / yoriqlar / ifloslanish | Yo'q | NA | |
| Yon chiplari / chuqurchalar / sinish / olti burchakli plitalar | Yo'q | ||
| Politipli hududlar | Yo'q | Kümülatif maydon≤20% | Kümülatif maydon≤30% |
| Old lazer belgisi | Yo'q | ||
| Orqaga Sifat | |||
| Orqa tugatish | C-yuzli CMP | ||
| Chiziqlar | ≤5ea/mm,Kümülatif uzunlik≤2*Diametr | NA | |
| Orqa nuqsonlar (chekka chiplari/cheklari) | Yo'q | ||
| Orqa pürüzlülük | Ra≤0,2nm (5mm*5mm) | ||
| Orqa lazer belgilari | 1 mm (yuqori chetidan) | ||
| Chet | |||
| Chet | Chamfer | ||
| Qadoqlash | |||
| Qadoqlash | Vakuumli qadoqlash bilan epi-tayyor Ko'p gofretli kassetali qadoqlash | ||
| *Izohlar: “NA” soʻrov yoʻq degan maʼnoni bildiradi. | |||
