SiC qoplamali barrelli reaktor Epi tizimi

Qisqacha tavsif:

Semicera turli xil epitaksiya reaktorlari uchun mo'ljallangan keng qamrovli susseptorlar va grafit komponentlarini taklif etadi.

Sanoatning yetakchi OEM’lari bilan strategik hamkorlik, keng materiallar tajribasi va ilg‘or ishlab chiqarish imkoniyatlari orqali Semicera ilovangizning o‘ziga xos talablariga javob beradigan moslashtirilgan dizaynlarni taqdim etadi. Bizning mukammallikka sodiqligimiz epitaksi reaktor ehtiyojlari uchun optimal echimlarni olishingizni ta'minlaydi.

 

 

 

 


Mahsulot detali

Mahsulot teglari

Bizning kompaniyamiz taqdim etadiSiC qoplamasigrafit, keramika va boshqa materiallar yuzasida CVD usuli bo'yicha ishlov berish xizmatlari, uglerod va kremniyni o'z ichiga olgan maxsus gazlar yuqori haroratda reaksiyaga kirishib, yuqori toza Sic molekulalarini olishi mumkin, ular qoplangan materiallar yuzasiga yotqizilishi mumkin.SiC himoya qatlamiepitaxy barrel turi hypnotic uchun.

 

Asosiy xususiyatlar:

1 .Yuqori toza SiC qoplangan grafit

2. Yuqori issiqlikka chidamlilik va termal bir xillik

3. YaxshiSiC kristalli bilan qoplangansilliq sirt uchun

4. Kimyoviy tozalashga nisbatan yuqori chidamlilik

 
Barrel Susceptor Epi tizimi

ning asosiy texnik xususiyatlariCVD-SIC qoplamasi

SiC-CVD xususiyatlari

Kristal tuzilishi FCC b fazasi
Zichlik g/sm³ 3.21
Qattiqlik Vickers qattiqligi 2500
Don hajmi mkm 2~10
Kimyoviy tozalik % 99.99995
Issiqlik quvvati J·kg-1 ·K-1 640
Sublimatsiya harorati 2700
Feleksual kuch MPa (RT 4 ball) 415
Yosh moduli Gpa (4pt egilish, 1300℃) 430
Termal kengayish (CTE) 10-6K-1 4.5
Issiqlik o'tkazuvchanligi (Vt/mK) 300

 

 
2--cvd-sic-soflik---99-99995-_60366
5----sic-crystal_242127
Semicera ish joyi
Semicera ish joyi 2
Uskunalar mashinasi
CNNni qayta ishlash, kimyoviy tozalash, CVD qoplamasi
Bizning xizmatimiz

  • Oldingi:
  • Keyingisi: