SiC bilan qoplanganGrafit yarim oy qismiyarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonlarida, ayniqsa SiC epitaksial uskunalari uchun ishlatiladigan asosiy komponent hisoblanadi. Biz patentlangan texnologiyamizdan yarim oy qismini juda yuqori tozaligi, yaxshi qoplama bir xilligi va mukammal xizmat muddati, shuningdek, yuqori kimyoviy qarshilik va termal barqarorlik xususiyatlariga ega qilish uchun foydalanamiz.
