Silikon karbidli substratlar|SiC gofretlari

Qisqacha tavsif:

Semicera Energy Technology Co., Ltd gofret va ilg'or yarimo'tkazgich sarf materiallariga ixtisoslashgan yetakchi yetkazib beruvchi hisoblanadi. Biz yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish, fotovoltaik sanoat va boshqa tegishli sohalarga yuqori sifatli, ishonchli va innovatsion mahsulotlarni taqdim etishga bag'ishlanganmiz.

Bizning mahsulot qatorimiz silikon karbid, kremniy nitridi, alyuminiy oksidi va boshqalar kabi turli xil materiallarni o'z ichiga olgan SiC / TaC qoplangan grafit mahsulotlari va keramika mahsulotlarini o'z ichiga oladi.

Hozirgi vaqtda biz 99,9999% SiC qoplamasi va 99,9% qayta kristallangan kremniy karbidini tozalovchi yagona ishlab chiqaruvchimiz. SiC qoplamasining maksimal uzunligi 2640 mm.

 

Mahsulot detali

Mahsulot teglari

SiC-gofret

Silikon karbid (SiC) monokristalli material katta tarmoqli bo'shlig'iga ega (~Si 3 marta), yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi (~Si 3,3 marta yoki GaAs 10 marta), yuqori elektron to'yinganlik migratsiya tezligi (~Si 2,5 marta), yuqori parchalanish elektr maydon (~Si 10 marta yoki GaAs 5 marta) va boshqa ajoyib xususiyatlar.

SiC qurilmalari yuqori harorat, yuqori bosim, yuqori chastotali, yuqori quvvatli elektron qurilmalar va aerokosmik, harbiy, yadroviy energiya va boshqalar kabi ekstremal ekologik ilovalar sohasida o'zgarmas afzalliklarga ega bo'lib, amaliy jihatdan an'anaviy yarimo'tkazgichli materiallarning kamchiliklarini qoplaydi. ilovalar va asta-sekin quvvat yarimo'tkazgichlarining asosiy oqimiga aylanmoqda.

4H-SiC Silikon karbid substratining texnik xususiyatlari

Buyum

Xususiyatlari

Politip
mēng

4H -SiC

6H - SiC

Diametri
língjínzí

2 dyuym | 3 dyuym | 4 dyuym | 6 dyuym

2 dyuym | 3 dyuym | 4 dyuym | 6 dyuym

Qalinligi

330 mkm ~ 350 mikron

330 mkm ~ 350 mikron

O'tkazuvchanlik
língjín

N - turi / Yarim izolyatsion
Nchàngjíní/ chàngjín

N - turi / Yarim izolyatsion
Nchàngjíní/ chàngjín

Dopant
míngì

N2 (azot) V (vanadiy)

N2 (azot) V (vanadiy)

Orientatsiya
mínji

O'qda <0001>
Off o'qi <0001> yopiq 4°

O'qda <0001>
Off o'qi <0001> yopiq 4°

Qarshilik
língín

0,015 ~ 0,03 ohm-sm
(4H-N)

0,02 ~ 0,1 ohm-sm
(6H-N)

Mikroquvur zichligi (MPD)
língjínján

≤10/sm2 ~ ≤1/sm2

≤10/sm2 ~ ≤1/sm2

TTV
língínzín

≤ 15 mkm

≤ 15 mkm

Yoy / burilish
língí

≤25 mkm

≤25 mkm

Yuzaki
língíní

DSP/SSP

DSP/SSP

Baho
mēngjīng

Ishlab chiqarish / tadqiqot darajasi

Ishlab chiqarish / tadqiqot darajasi

Kristalli stacking ketma-ketligi
língíngín

ABCB

ABCABC

Panjara parametri
míngíní

a=3,076A , c=10,053A

a=3,073A , c=15,117A

Masalan,/eV (band oralig'i)
chàngāngì

3,27 eV

3,02 eV

e (Dielektrik doimiy)
mēngjēng

9.6

9.66

Sinishi indeksi
língín

n0 =2,719 ne =2,777

n0 =2,707 , yo'q =2,755

6H-SiC Silicon Carbide substratining texnik xususiyatlari

Buyum

Xususiyatlari

Politip
mēng

6H-SiC

Diametri
língjínzí

4 dyuym | 6 dyuym

Qalinligi

350mm ~ 450mm

O'tkazuvchanlik
língjín

N - turi / Yarim izolyatsion
Nchàngjíní/ chàngjín

Dopant
míngì

N2 (azot)
V (vanadiy)

Orientatsiya
mínji

<0001> o'chirilgan 4°± 0,5°

Qarshilik
língín

0,02 ~ 0,1 ohm-sm
(6H-N turi)

Mikroquvur zichligi (MPD)
língjínján

≤ 10/sm2

TTV
língínzín

≤ 15 mkm

Yoy / burilish
língí

≤25 mkm

Yuzaki
língíní

Si Face: CMP, Epi-Ready
C Yuz: optik jilo

Baho
mēngjīng

Tadqiqot darajasi

Semicera ish joyi Semicera ish joyi 2 Uskunalar mashinasi CNNni qayta ishlash, kimyoviy tozalash, CVD qoplamasi Bizning xizmatimiz


  • Oldingi:
  • Keyingisi: