Semicera turli komponentlar va tashuvchilar uchun maxsus tantal karbid (TaC) qoplamalarini taqdim etadi.Semicera etakchi qoplama jarayoni tantal karbid (TaC) qoplamalariga yuqori tozalik, yuqori harorat barqarorligi va yuqori kimyoviy bardoshlik, SIC / GAN kristallari va EPI qatlamlarining mahsulot sifatini yaxshilash imkonini beradi (Grafit bilan qoplangan TaC sensori) va asosiy reaktor komponentlarining ishlash muddatini uzaytirish. Tantal karbidli TaC qoplamasidan foydalanish chekka muammosini hal qilish va kristall o'sishi sifatini yaxshilashdir va Semicera xalqaro ilg'or darajaga yetib, tantal karbid qoplama texnologiyasini (CVD) hal qildi.
Silikon karbid (SiC) yarimo'tkazgichlarning uchinchi avlodidagi asosiy materialdir, ammo uning rentabellik darajasi sanoat rivojlanishi uchun cheklovchi omil bo'lib kelgan. Semicera laboratoriyalarida keng qamrovli sinovdan so'ng, püskürtülmüş va sinterlangan TaC kerakli tozalik va bir xillikka ega emasligi aniqlandi. Bundan farqli o'laroq, CVD jarayoni 5 PPM tozalik darajasini va mukammal bir xillikni ta'minlaydi. CVD TaC dan foydalanish kremniy karbidli gofretlarning rentabelligini sezilarli darajada yaxshilaydi. Biz muhokamalarni mamnuniyat bilan qabul qilamizTaC qoplangan grafitli uch segmentli halqalar SiC gofretlarining narxini yanada kamaytirish uchun.
Ko'p yillik rivojlanishdan so'ng Semicera texnologiyasini zabt etdiCVD TaCAR-GE bo'limining birgalikdagi sa'y-harakatlari bilan. SiC gofretlarining o'sish jarayonida nuqsonlar paydo bo'lishi oson, lekin foydalanishdan keyinTaC, farq sezilarli. Quyida bitta kristall o'sishi uchun TaC bo'lgan va bo'lmagan gofretlarni, shuningdek Simicera qismlarini taqqoslash mumkin.
TaC bilan va holda
TaC dan foydalangandan so'ng (o'ngda)
Bundan tashqari, SemiceraTaC bilan qoplangan mahsulotlarnisbatan uzoqroq xizmat muddati va yuqori haroratga chidamliligini namoyish etadiSiC qoplamalari.Laboratoriya o'lchovlari shuni ko'rsatdiki, bizningTaC qoplamalariuzoq vaqt davomida 2300 daraja Selsiygacha bo'lgan haroratda doimiy ravishda ishlashi mumkin. Quyida bizning namunalarimizdan ba'zi misollar keltirilgan:
