TaC qoplangan plastinka SiC epitaksial jarayonlarda foydalanish uchun mo'ljallangan, yuqori sifatli grafit materialidan aniqlik bilan yaratilgan maxsus diskdir. Uning yuzasi tantal karbid (TaC) bilan sinchkovlik bilan qoplangan, bu o'zining ajoyib tozaligi va mustahkamligi bilan mashhur. TaC qoplamasi plastinkaning chidamliligi va yuqori haroratlarga chidamliligini oshiradi, bu uni SiC epitaksial jarayonlarining talabchan sharoitlari uchun ideal qiladi.
Ushbu innovatsion TaC qoplangan plastinka SiC epitaksial jarayonlarida foydalanish uchun mo'ljallangan, yuqori sifatli grafit materialidan aniqlik bilan yaratilgan maxsus diskdir. TaC bilan qoplangan plastinka yuzasi o'zining ajoyib tozaligi va mustahkamligi bilan mashhur bo'lgan tantal karbid (TaC) bilan ehtiyotkorlik bilan qoplangan. SiC epitaksial o'sishining turli bosqichlarida gofretlarni tashish uchun ishonchli platforma bo'lib xizmat qiladi. Uning yuqori tozalikdagi grafit asosi barqaror va inert sirtni ta'minlaydi, TaC qoplamasi esa kimyoviy reaktsiyalar va aşınmaya qarshi qo'shimcha himoya qatlamini qo'shadi.
YarimdavrTaC qoplangan plastinka mijozlarning o'ziga xos talablariga muvofiq moslashtirilgan bo'lib, ularning SiC epitaksial tizimlari bilan optimal ishlash va muvofiqlikni ta'minlaydi. Hajmi, shakli yoki boshqa xususiyatlaridan qat'i nazar, bu plitalar har bir dasturning o'ziga xos ehtiyojlarini qondirish uchun moslashtirilgan.
TaC bilan va holda
TaC dan foydalangandan so'ng (o'ngda)
Bundan tashqari, SemiceraTaC bilan qoplangan mahsulotlarnisbatan uzoqroq xizmat muddati va yuqori haroratga chidamliligini namoyish etadiSiC qoplamalari.Laboratoriya o'lchovlari shuni ko'rsatdiki, bizningTaC qoplamalariuzoq vaqt davomida 2300 daraja Selsiygacha bo'lgan haroratda doimiy ravishda ishlashi mumkin. Quyida bizning namunalarimizdan ba'zi misollar keltirilgan:
