Semicera turli komponentlar va tashuvchilar uchun maxsus tantal karbid (TaC) qoplamalarini taqdim etadi.Semicera etakchi qoplama jarayoni tantal karbid (TaC) qoplamalariga yuqori tozalik, yuqori harorat barqarorligi va yuqori kimyoviy bardoshlik, SIC / GAN kristallari va EPI qatlamlarining mahsulot sifatini yaxshilash imkonini beradi (Grafit bilan qoplangan TaC sensori) va asosiy reaktor komponentlarining ishlash muddatini uzaytirish. Tantal karbidli TaC qoplamasidan foydalanish chekka muammosini hal qilish va kristall o'sishi sifatini yaxshilashdir va Semicera xalqaro ilg'or darajaga yetib, tantal karbid qoplama texnologiyasini (CVD) hal qildi.
Tantal karbid bilan qoplangan gofret tashuvchilari yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonlarida gofretni qayta ishlash va ishlov berish jarayonlarida keng qo'llaniladi. Ular ishlab chiqarish jarayonida gofretlarning xavfsizligi, aniqligi va mustahkamligini ta'minlash uchun barqaror yordam va himoyani ta'minlaydi. Tantal karbid qoplamalari tashuvchining xizmat qilish muddatini uzaytirishi, xarajatlarni kamaytirishi va yarimo'tkazgich mahsulotlarining sifati va ishonchliligini oshirishi mumkin.
Tantal karbid bilan qoplangan gofret tashuvchining tavsifi quyidagicha:
1. Materialni tanlash: Tantal karbid mukammal ishlash, yuqori qattiqlik, yuqori erish nuqtasi, korroziyaga chidamlilik va mukammal mexanik xususiyatlarga ega materialdir, shuning uchun yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonida keng qo'llaniladi.
2. Yuzaki qoplama: Tantal karbid qoplamasi gofret tashuvchisi yuzasiga bir xil va zich tantal karbid qoplamasini hosil qilish uchun maxsus qoplama jarayoni orqali qo'llaniladi. Ushbu qoplama qo'shimcha himoya va aşınmaya bardoshli bo'lishi mumkin, shu bilan birga yaxshi issiqlik o'tkazuvchanligiga ega.
3. Yassilik va aniqlik: Tantal karbid bilan qoplangan gofret tashuvchisi ishlab chiqarish jarayonida gofretlarning barqarorligi va aniqligini ta'minlaydigan yuqori tekislik va aniqlik darajasiga ega. Gofretning sifati va ishlashini ta'minlash uchun tashuvchi sirtning tekisligi va qoplamasi juda muhimdir.
4. Harorat barqarorligi: Tantal karbid bilan qoplangan gofret tashuvchilari yuqori haroratli muhitda deformatsiya yoki bo'shashmasdan barqarorlikni saqlab turishi, yuqori haroratli jarayonlarda gofretlarning barqarorligi va mustahkamligini ta'minlashi mumkin.
5. Korroziyaga chidamlilik: Tantal karbid qoplamalari mukammal korroziyaga chidamliligiga ega, kimyoviy moddalar va erituvchilarning eroziyasiga qarshi turishi va tashuvchini suyuqlik va gaz korroziyasidan himoya qilishi mumkin.
TaC bilan va holda
TaC dan foydalangandan so'ng (o'ngda)
Bundan tashqari, SemiceraTaC bilan qoplangan mahsulotlarnisbatan uzoqroq xizmat muddati va yuqori haroratga chidamliligini namoyish etadiSiC qoplamalari.Laboratoriya o'lchovlari shuni ko'rsatdiki, bizningTaC qoplamalariuzoq vaqt davomida 2300 daraja Selsiygacha bo'lgan haroratda doimiy ravishda ishlashi mumkin. Quyida bizning namunalarimizdan ba'zi misollar keltirilgan:
