Tantal karbid bilan qoplangan grafit varaqyupqa qatlamli grafit materialdirtantal karbidsubstrat yuzasida. Tantal karbidning yupqa qatlami odatda grafit substrat yuzasida jismoniy bug 'cho'kishi (PVD) yoki kimyoviy bug'ning cho'kishi (CVD) kabi usullar bilan hosil bo'ladi. Ushbu qoplama yuqori qattiqlik, mukammal aşınma qarshilik, korroziyaga chidamlilik va yuqori harorat barqarorligi kabi ajoyib xususiyatlarga ega.
Semicera turli komponentlar va tashuvchilar uchun maxsus tantal karbid (TaC) qoplamalarini taqdim etadi.Semicera etakchi qoplama jarayoni tantal karbid (TaC) qoplamalariga yuqori tozalik, yuqori harorat barqarorligi va yuqori kimyoviy bardoshlik, SIC / GAN kristallari va EPI qatlamlarining mahsulot sifatini yaxshilash imkonini beradi (Grafit bilan qoplangan TaC sensori) va asosiy reaktor komponentlarining ishlash muddatini uzaytirish. Tantal karbidli TaC qoplamasidan foydalanish chekka muammosini hal qilish va kristall o'sishi sifatini yaxshilashdir va Semicera xalqaro ilg'or darajaga yetib, tantal karbid qoplama texnologiyasini (CVD) hal qildi.
Ko'p yillik rivojlanishdan so'ng Semicera texnologiyasini zabt etdiCVD TaCAR-GE bo'limining birgalikdagi sa'y-harakatlari bilan. SiC gofretlarining o'sish jarayonida nuqsonlar paydo bo'lishi oson, lekin foydalanishdan keyinTaC, farq sezilarli. Quyida bitta kristall o'sishi uchun TaC bo'lgan va bo'lmagan gofretlarni, shuningdek Simicera qismlarini taqqoslash mumkin.
Tantal karbid bilan qoplangan grafit plitasining asosiy afzalliklari quyidagilardan iborat:
1. Yuqori harorat qarshiligi: Tantal karbid yuqori erish nuqtasiga va mukammal yuqori harorat barqarorligiga ega bo'lib, qoplangan grafit qatlamini yuqori haroratli muhitda ishlatish uchun mos qiladi.
2. Korroziyaga chidamlilik: Tantal karbid qoplamasi ko'plab kimyoviy korroziy moddalarning eroziyasiga qarshi turishi va materialning ishlash muddatini uzaytirishi mumkin.
3. Yuqori qattiqlik: Tantal karbid yupqa qatlamining yuqori qattiqligi yaxshi aşınma qarshiligini ta'minlaydi va yuqori aşınma qarshilik talab qiladigan ilovalar uchun javob beradi.
4. Kimyoviy barqarorlik: Tantal karbid qoplamasi kimyoviy korroziyaga mukammal barqarorlikka ega va ba'zi korroziy vositalarda foydalanish uchun javob beradi.
TaC bilan va holda
TaC dan foydalangandan so'ng (o'ngda)
Bundan tashqari, SemiceraTaC bilan qoplangan mahsulotlarnisbatan uzoqroq xizmat muddati va yuqori haroratga chidamliligini namoyish etadiSiC qoplamalari.Laboratoriya o'lchovlari shuni ko'rsatdiki, bizningTaC qoplamalariuzoq vaqt davomida 2300 daraja Selsiygacha bo'lgan haroratda doimiy ravishda ishlashi mumkin. Quyida bizning namunalarimizdan ba'zi misollar keltirilgan:
