Semicera taqdim etadiGofretli kassetali tashuvchi, yarimo'tkazgichli gofretlarni xavfsiz va samarali ishlatish uchun muhim yechim. Ushbu tashuvchi yarimo'tkazgich sanoatining qat'iy talablariga javob berish uchun ishlab chiqilgan bo'lib, butun ishlab chiqarish jarayonida gofretlaringizning himoyasi va yaxlitligini ta'minlaydi.
Asosiy xususiyatlar:
•Kuchli qurilish:TheGofretli kassetali tashuvchiyuqori sifatli, bardoshli materiallardan qurilgan bo'lib, yarimo'tkazgichli muhitning og'irligiga bardosh beradi, ifloslanish va jismoniy shikastlanishdan ishonchli himoya qiladi.
•Aniq hizalama:Gofretni aniq tekislash uchun mo'ljallangan ushbu tashuvchi gofretlarni xavfsiz joyda ushlab turishini ta'minlaydi va tashish paytida noto'g'ri hizalanish yoki shikastlanish xavfini kamaytiradi.
•Oson ishlov berish:Foydalanish qulayligi uchun ergonomik tarzda ishlab chiqilgan tashuvchi yuklash va tushirish jarayonini soddalashtiradi, toza xona muhitida ish jarayoni samaradorligini oshiradi.
•Moslik:Gofret o'lchamlari va turlarining keng doirasiga mos keladi, bu uni har xil yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish ehtiyojlari uchun ko'p qirrali qiladi.
Semicera's bilan misli ko'rilmagan himoya va qulaylikni his etingGofretli kassetali tashuvchi. Bizning tashuvchimiz yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishning eng yuqori standartlariga javob berishga mo'ljallangan bo'lib, sizning gofretlaringiz boshidan oxirigacha toza holatda bo'lishini ta'minlaydi. Sizning eng muhim jarayonlaringiz uchun zarur bo'lgan sifat va ishonchlilikni ta'minlash uchun Semicera-ga ishoning.
| Elementlar | Ishlab chiqarish | Tadqiqot | Qo'g'irchoq |
| Kristal parametrlari | |||
| Politip | 4H | ||
| Yuzaki orientatsiya xatosi | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektr parametrlari | |||
| Dopant | n-turi azot | ||
| Qarshilik | 0,015-0,025 ohm · sm | ||
| Mexanik parametrlar | |||
| Diametri | 150,0±0,2 mm | ||
| Qalinligi | 350±25 mkm | ||
| Birlamchi tekis orientatsiya | [1-100]±5° | ||
| Birlamchi tekis uzunlik | 47,5±1,5 mm | ||
| Ikkilamchi kvartira | Yo'q | ||
| TTV | ≤5 mkm | ≤10 mkm | ≤15 mkm |
| LTV | ≤3 mkm (5mm*5mm) | ≤5 mkm (5mm*5mm) | ≤10 mkm (5mm*5mm) |
| Kamon | -15mm ~ 15mm | -35μm ~ 35μm | -45mm ~ 45mm |
| Buzilish | ≤35 mkm | ≤45 mkm | ≤55 mkm |
| Old (si-yuz) pürüzlülüğü (AFM) | Ra≤0,2nm (5mm*5mm) | ||
| Tuzilishi | |||
| Mikrotrubaning zichligi | <1 ea/sm2 | <10 ea/sm2 | <15 ea/sm2 |
| Metall aralashmalar | ≤5E10atom/sm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/sm2 | ≤3000 ea/sm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/sm2 | ≤1000 ea/sm2 | NA |
| Old Sifat | |||
| Old | Si | ||
| Yuzaki ishlov berish | Si-face CMP | ||
| Zarrachalar | ≤60ea/gofret (hajmi≥0,3 mkm) | NA | |
| Chiziqlar | ≤5ea/mm. Kümülatif uzunlik ≤Diametr | Kümülatif uzunlik≤2*Diametr | NA |
| Apelsin qobig'i / chuqurchalar / dog'lar / chiziqlar / yoriqlar / ifloslanish | Yo'q | NA | |
| Yon chiplari / chuqurchalar / sinish / olti burchakli plitalar | Yo'q | ||
| Politipli hududlar | Yo'q | Kümülatif maydon≤20% | Kümülatif maydon≤30% |
| Old lazer belgisi | Yo'q | ||
| Orqaga Sifat | |||
| Orqa tugatish | C-yuzli CMP | ||
| Chiziqlar | ≤5ea/mm,Kümülatif uzunlik≤2*Diametr | NA | |
| Orqa nuqsonlar (chekka chiplari/cheklari) | Yo'q | ||
| Orqa pürüzlülük | Ra≤0,2nm (5mm*5mm) | ||
| Orqa lazer belgilari | 1 mm (yuqori chetidan) | ||
| Chet | |||
| Chet | Chamfer | ||
| Qadoqlash | |||
| Qadoqlash | Vakuumli qadoqlash bilan epi-tayyor Ko'p gofretli kassetali qadoqlash | ||
| *Izohlar: “NA” soʻrov yoʻq degan maʼnoni bildiradi. | |||
