Silikon karbid qoplamasiga kirish
Kimyoviy bug 'cho'ktiruvchi (CVD) kremniy karbid (SiC) qoplamamiz yuqori darajada bardoshli va aşınmaya bardoshli qatlam bo'lib, yuqori korroziya va termal qarshilik talab qiladigan muhitlar uchun idealdir.Silikon karbid qoplamasiCVD jarayoni orqali turli substratlarga yupqa qatlamlarda qo'llaniladi va yuqori ishlash xususiyatlarini taklif qiladi.
Asosiy xususiyatlar
● - Ajoyib poklik: O'ta sof tarkibi bilan faxrlanadi99,99995%, bizningSiC qoplamasinozik yarimo'tkazgich operatsiyalarida ifloslanish xavfini kamaytiradi.
● - Yuqori qarshilik: Aşınmaya va korroziyaga mukammal qarshilik ko'rsatadi, bu uni kimyoviy va plazma sozlamalarini qiyinlashtirish uchun mukammal qiladi.
● -Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi: Ajoyib termal xususiyatlari tufayli ekstremal haroratlarda ishonchli ishlashni ta'minlaydi.
● -O'lchovli barqarorlik: Past termal kengayish koeffitsienti tufayli keng harorat oralig'ida strukturaning yaxlitligini saqlaydi.
● - Kengaytirilgan qattiqlik: Qattiqlik darajasi bilan40 GPa, bizning SiC qoplamamiz sezilarli zarba va aşınmaya bardosh beradi.
● -Smooth Surface Finish: Oynaga o'xshash qoplamani ta'minlaydi, zarrachalar hosil bo'lishini kamaytiradi va operatsion samaradorlikni oshiradi.
Ilovalar
Semicera SiC qoplamalariYarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishning turli bosqichlarida qo'llaniladi, jumladan:
● -LED chiplarini ishlab chiqarish
● -Polisilikon ishlab chiqarish
● -Yarimo'tkazgich kristalining o'sishi
● -Silikon va SiC epitaksisi
● -Termal oksidlanish va diffuziya (TO&D)
Biz yuqori quvvatli izostatik grafit, uglerod tolasi bilan mustahkamlangan uglerod va 4N qayta kristallangan kremniy karbiddan ishlab chiqarilgan SiC bilan qoplangan komponentlarni etkazib beramiz, ular suyuq qatlamli reaktorlar uchun mo'ljallangan.PECVD, silikon epitaksi, MOCVD jarayonlarida ishlatiladigan STC-TCS konvertorlari, CZ birligi reflektorlari, SiC gofretli qayiq, SiCwafer qayiq, SiC gofret trubkasi va gofret tashuvchilar..
Foyda
● -Uzaytirilgan xizmat muddati: Uskunaning ishlamay qolishi va texnik xizmat ko'rsatish xarajatlarini sezilarli darajada kamaytiradi, umumiy ishlab chiqarish samaradorligini oshiradi.
● -Sifat yaxshilandi: Yarimo'tkazgichlarni qayta ishlash uchun zarur bo'lgan yuqori toza sirtlarga erishadi, shu bilan mahsulot sifatini oshiradi.
● - samaradorlikni oshirish: Termal va CVD jarayonlarini optimallashtiradi, natijada aylanish vaqtini qisqartiradi va yuqori hosil beradi.
Texnik spetsifikatsiyalar
● -Tuzilishi: FCC b fazali polikristalin, asosan (111) yo'naltirilgan
● -Zichlik: 3,21 g/sm³
● -Qattiqlik: 2500 Vickes qattiqligi (500g yuk)
● -Sinish chidamliligi: 3,0 MPam·m1/2
● -Issiqlik kengayish koeffitsienti (100–600 °C): 4,3 x 10-6k-1
● -Elastik modul(1300 ℃):435 Gpa
● -Odat plyonka qalinligi:100 mkm
● -Yuza pürüzlülüğü:2-10 mkm
Soflik ma'lumotlari (Glow Discharge Mass Spectroscopy tomonidan o'lchanadi)
| Element | ppm | Element | ppm |
| Li | < 0,001 | Cu | < 0,01 |
| Be | < 0,001 | Zn | < 0,05 |
| Al | < 0,04 | Ga | < 0,01 |
| P | < 0,01 | Ge | < 0,05 |
| S | < 0,04 | As | < 0,005 |
| K | < 0,05 | In | < 0,01 |
| Ca | < 0,05 | Sn | < 0,01 |
| Ti | < 0,005 | Sb | < 0,01 |
| V | < 0,001 | W | < 0,05 |
| Cr | < 0,05 | Te | < 0,01 |
| Mn | < 0,005 | Pb | < 0,01 |
| Fe | < 0,05 | Bi | < 0,05 |
| Ni | < 0,01 |
|
