Semicerag'urur bilan taklif qiladiGa2O3Epitaksiya, energiya elektronikasi va optoelektronika chegaralarini kengaytirish uchun mo'ljallangan eng zamonaviy yechim. Ushbu ilg'or epitaksial texnologiya Gallium oksidining (Ga2O3) talab qilinadigan ilovalarda yuqori ishlashni ta'minlash.
Asosiy xususiyatlar:
• Ajoyib keng diapazon: Ga2O3Epitaksiyao'ta keng tarmoqli bo'shliqqa ega bo'lib, yuqori quvvatli muhitda yuqori buzilish kuchlanishlari va samarali ishlash imkonini beradi.
•Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi: Epitaksial qatlam mukammal issiqlik o'tkazuvchanligini ta'minlaydi, hatto yuqori harorat sharoitida ham barqaror ishlashni ta'minlaydi va uni yuqori chastotali qurilmalar uchun ideal qiladi.
•Yuqori material sifati: Minimal nuqsonlar bilan yuqori kristal sifatiga erishing, qurilmaning optimal ishlashi va uzoq umr ko'rishini ta'minlang, ayniqsa quvvat tranzistorlari va UV detektorlari kabi muhim ilovalarda.
•Ilovalarda ko'p qirrali: Quvvat elektroniği, RF ilovalari va optoelektronika uchun juda mos keladi, bu keyingi avlod yarimo'tkazgich qurilmalari uchun ishonchli asos bo'lib xizmat qiladi.
ning salohiyatini kashf etingGa2O3EpitaksiyaSemicera innovatsion yechimlari bilan. Bizning epitaksial mahsulotlarimiz eng yuqori sifat va ishlash standartlariga javob berishga mo'ljallangan bo'lib, sizning qurilmalaringiz maksimal samaradorlik va ishonchlilik bilan ishlashga imkon beradi. Eng zamonaviy yarimo'tkazgich texnologiyasi uchun Semicera ni tanlang.
| Elementlar | Ishlab chiqarish | Tadqiqot | Qo'g'irchoq |
| Kristal parametrlari | |||
| Politip | 4H | ||
| Yuzaki orientatsiya xatosi | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektr parametrlari | |||
| Dopant | n-turi azot | ||
| Qarshilik | 0,015-0,025 ohm · sm | ||
| Mexanik parametrlar | |||
| Diametri | 150,0±0,2 mm | ||
| Qalinligi | 350±25 mkm | ||
| Birlamchi tekis orientatsiya | [1-100]±5° | ||
| Birlamchi tekis uzunlik | 47,5±1,5 mm | ||
| Ikkilamchi kvartira | Yo'q | ||
| TTV | ≤5 mkm | ≤10 mkm | ≤15 mkm |
| LTV | ≤3 mkm (5mm*5mm) | ≤5 mkm (5mm*5mm) | ≤10 mkm (5mm*5mm) |
| Kamon | -15mm ~ 15mm | -35μm ~ 35μm | -45mm ~ 45mm |
| Buzilish | ≤35 mkm | ≤45 mkm | ≤55 mkm |
| Old (si-yuz) pürüzlülüğü (AFM) | Ra≤0,2nm (5mm*5mm) | ||
| Tuzilishi | |||
| Mikrotrubaning zichligi | <1 ea/sm2 | <10 ea/sm2 | <15 ea/sm2 |
| Metall aralashmalar | ≤5E10atom/sm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/sm2 | ≤3000 ea/sm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/sm2 | ≤1000 ea/sm2 | NA |
| Old Sifat | |||
| Old | Si | ||
| Yuzaki ishlov berish | Si-face CMP | ||
| Zarrachalar | ≤60ea/gofret (hajmi≥0,3 mkm) | NA | |
| Chiziqlar | ≤5ea/mm. Kümülatif uzunlik ≤Diametr | Kümülatif uzunlik≤2*Diametr | NA |
| Apelsin qobig'i / chuqurchalar / dog'lar / chiziqlar / yoriqlar / ifloslanish | Yo'q | NA | |
| Yon chiplari / chuqurliklari / sinishi / olti burchakli plitalar | Yo'q | ||
| Politipli hududlar | Yo'q | Kümülatif maydon≤20% | Kümülatif maydon≤30% |
| Old lazer belgisi | Yo'q | ||
| Orqaga Sifat | |||
| Orqa tugatish | C-yuzli CMP | ||
| Chiziqlar | ≤5ea/mm,Kümülatif uzunlik≤2*Diametr | NA | |
| Orqa nuqsonlar (chekka chiplari/cheklari) | Yo'q | ||
| Orqa pürüzlülük | Ra≤0,2nm (5mm*5mm) | ||
| Orqa lazer belgilari | 1 mm (yuqori chetidan) | ||
| Chet | |||
| Chet | Chamfer | ||
| Qadoqlash | |||
| Qadoqlash | Vakuumli qadoqlash bilan epi-tayyor Ko'p gofretli kassetali qadoqlash | ||
| *Izohlar: “NA” soʻrov yoʻq degan maʼnoni bildiradi. | |||
