Semicera taqdim etishdan faxrlanadiGa2O3Substrat, energiya elektronikasi va optoelektronikani inqilob qilishga tayyor bo'lgan zamonaviy material.Galiy oksidi (Ga2O3) substratlarultra keng tarmoqli oralig'i bilan mashhur bo'lib, ularni yuqori quvvatli va yuqori chastotali qurilmalar uchun ideal qiladi.
Asosiy xususiyatlar:
• Ultra keng tarmoqli oralig'i: Ga2O3 taxminan 4,8 eV tarmoqli bo'shlig'ini taklif qiladi, bu uning Silikon va GaN kabi an'anaviy materiallarga nisbatan yuqori kuchlanish va haroratlarga bardosh berish qobiliyatini sezilarli darajada oshiradi.
• Yuqori buzilish kuchlanishi: Istisno buzilish maydoni bilanGa2O3Substratyuqori kuchlanishli ishlashni talab qiladigan qurilmalar uchun juda mos keladi, bu esa yuqori samaradorlik va ishonchlilikni ta'minlaydi.
• Termik barqarorlik: Materialning yuqori issiqlik barqarorligi uni ekstremal muhitda qo'llash uchun mos qiladi va hatto og'ir sharoitlarda ham ishlashni saqlab qoladi.
• Ko‘p qirrali ilovalar: Yuqori samarali quvvatli tranzistorlar, UV optoelektronik qurilmalar va boshqalarda foydalanish uchun ideal bo‘lib, ilg‘or elektron tizimlar uchun mustahkam poydevor yaratadi.
Semicera's bilan yarimo'tkazgich texnologiyasining kelajagini boshdan kechiringGa2O3Substrat. Yuqori quvvatli va yuqori chastotali elektronikaning ortib borayotgan talablarini qondirish uchun ishlab chiqilgan ushbu substrat ishlash va chidamlilik uchun yangi standartni o'rnatadi. Semicera-ga eng qiyin ilovalaringiz uchun innovatsion yechimlarni taqdim etishiga ishoning.
| Elementlar | Ishlab chiqarish | Tadqiqot | Qo'g'irchoq |
| Kristal parametrlari | |||
| Politip | 4H | ||
| Yuzaki orientatsiya xatosi | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektr parametrlari | |||
| Dopant | n-turi azot | ||
| Qarshilik | 0,015-0,025 ohm · sm | ||
| Mexanik parametrlar | |||
| Diametri | 150,0±0,2 mm | ||
| Qalinligi | 350±25 mkm | ||
| Birlamchi tekis orientatsiya | [1-100]±5° | ||
| Birlamchi tekis uzunlik | 47,5±1,5 mm | ||
| Ikkilamchi kvartira | Yo'q | ||
| TTV | ≤5 mkm | ≤10 mkm | ≤15 mkm |
| LTV | ≤3 mkm (5mm*5mm) | ≤5 mkm (5mm*5mm) | ≤10 mkm (5mm*5mm) |
| Kamon | -15mm ~ 15mm | -35μm ~ 35μm | -45mm ~ 45mm |
| Buzilish | ≤35 mkm | ≤45 mkm | ≤55 mkm |
| Old (si-yuz) pürüzlülüğü (AFM) | Ra≤0,2nm (5mm*5mm) | ||
| Tuzilishi | |||
| Mikrotrubaning zichligi | <1 ea/sm2 | <10 ea/sm2 | <15 ea/sm2 |
| Metall aralashmalar | ≤5E10atom/sm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/sm2 | ≤3000 ea/sm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/sm2 | ≤1000 ea/sm2 | NA |
| Old Sifat | |||
| Old | Si | ||
| Yuzaki ishlov berish | Si-face CMP | ||
| Zarrachalar | ≤60ea/gofret (hajmi≥0,3 mkm) | NA | |
| Chiziqlar | ≤5ea/mm. Kümülatif uzunlik ≤Diametr | Kümülatif uzunlik≤2*Diametr | NA |
| Apelsin qobig'i / chuqurchalar / dog'lar / chiziqlar / yoriqlar / ifloslanish | Yo'q | NA | |
| Yon chiplari / chuqurliklari / sinishi / olti burchakli plitalar | Yo'q | ||
| Politipli hududlar | Yo'q | Kümülatif maydon≤20% | Kümülatif maydon≤30% |
| Old lazer belgisi | Yo'q | ||
| Orqaga Sifat | |||
| Orqa tugatish | C-yuzli CMP | ||
| Chiziqlar | ≤5ea/mm,Kümülatif uzunlik≤2*Diametr | NA | |
| Orqa nuqsonlar (chekka chiplari/cheklari) | Yo'q | ||
| Orqa pürüzlülük | Ra≤0,2nm (5mm*5mm) | ||
| Orqa lazer belgilari | 1 mm (yuqori chetidan) | ||
| Chet | |||
| Chet | Chamfer | ||
| Qadoqlash | |||
| Qadoqlash | Vakuumli qadoqlash bilan epi-tayyor Ko'p gofretli kassetali qadoqlash | ||
| *Izohlar: “NA” soʻrov yoʻq degan maʼnoni bildiradi. | |||
