TheMOCVDUsul sanoatda bir fazali InGaN epilayerlari, III-N materiallari va yarimo'tkazgichli plyonkalar kabi yuqori sifatli monokristalli yupqa plyonkalarni etishtirish uchun hozirda qo'llaniladigan eng barqaror jarayonlardan biri bo'lib, ko'p kvantli quduq tuzilmalari bilan katta ahamiyatga ega. yarimo'tkazgich va optoelektron qurilmalar ishlab chiqarish.
TheSiC qoplamali MOCVD sensoriuchun kremniy karbid (SiC) bilan qoplangan maxsus gofret ushlagichidirepitaksial metall organik kimyoviy bug'larni cho'ktirish (MOCVD) jarayonida o'sish.
SiC qoplamasi mukammal kimyoviy qarshilik va termal barqarorlikka ega, bu uni epitaksial o'sish jarayonlarida ishlatiladigan MOCVD sezgirlari uchun ideal tanlov qiladi.
MOCVD jarayonining asosiy komponenti ishlab chiqarilgan nozik plyonkalarning bir xilligi va sifatini ta'minlashning asosiy elementi bo'lgan susseptordir.
Susseptor nima? Susseptor MOCVD jarayonida yupqa plyonka yotqizilgan substratni qo'llab-quvvatlash va isitish uchun ishlatiladigan maxsus komponent hisoblanadi. U elektromagnit energiyani yutish, uni issiqlikka aylantirish va issiqlikni substratga teng ravishda taqsimlash kabi bir nechta funktsiyalarga ega. Bu bir xil isitish aniq qalinligi va tarkibi bo'lgan bir xil nozik plyonkalarning o'sishi uchun zarurdir.
Sensorlarning turlari:
1. Grafit sezgichlari: Grafit sezgirlari ko'pincha himoya qatlami bilan qoplangan, masalankremniy karbid (SiC), bu yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi va barqarorligi bilan mashhur. TheSiC qoplamasiyuqori haroratlarda korroziyaga va buzilishlarga qarshilik ko'rsatadigan qattiq, himoya sirtini ta'minlaydi.
2. Silikon karbid (SiC) ushlagichlari: Bu sensorlar butunlay SiC dan tayyorlangan va mukammal termal barqarorlikka va aşınma qarshiligiga ega. SiC sezgirlari yuqori haroratli jarayonlar va korroziy muhitlar uchun ayniqsa mos keladi.
MOCVD da sezgirlar qanday ishlaydi:
MOCVD jarayonida prekursorlar reaktsiya kamerasiga kiritiladi, u erda ular parchalanadi va substratda nozik bir plyonka hosil qilish uchun reaksiyaga kirishadi. Susseptor substratning bir tekis qizdirilishini ta'minlash orqali muhim rol o'ynaydi, bu esa butun substrat yuzasi bo'ylab izchil kino xususiyatlariga erishish uchun juda muhimdir. Susseptorning materiali va dizayni harorat oralig'i va kimyoviy muvofiqlik kabi cho'kma jarayonining o'ziga xos talablariga javob berish uchun ehtiyotkorlik bilan tanlangan.
Yuqori sifatli ushlagichlardan foydalanishning afzalliklari:
• Kengaytirilgan plyonka sifati: Bir xil issiqlik taqsimotini ta'minlab, ushlagich yarimo'tkazgich qurilmalarining ishlashi uchun juda muhim bo'lgan barqaror qalinlik va tarkibga ega bo'lgan plyonkalarga erishishga yordam beradi.
• Jarayon samaradorligini oshirish: Yuqori sifatli susseptorlar nuqsonlar ehtimolini kamaytirish va foydalanishga yaroqli plyonkalar hosildorligini oshirish orqali MOCVD jarayonining umumiy samaradorligini oshiradi.
• Ishlash muddati va ishonchliligi: SiC kabi bardoshli materiallardan tayyorlangan ushlagichlar uzoq muddatli ishonchlilikni ta'minlaydi va texnik xizmat ko'rsatish xarajatlarini kamaytiradi.
Susseptor MOCVD jarayonida ajralmas komponent bo'lib, yupqa plyonka cho'kmasining sifati va samaradorligiga bevosita ta'sir qiladi. Mavjud o'lchamlar, MOCVD sezgirlari va narxlari haqida qo'shimcha ma'lumot olish uchun biz bilan bog'lanishdan tortinmang. Bizning muhandislarimiz sizga mos materiallar bo'yicha maslahat berishdan va barcha savollaringizga javob berishdan xursand bo'lishadi.
Telefon: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Xabar vaqti: 2024 yil 12-avgust