Metall-organik kimyoviy bug'larni cho'ktirish (MOCVD) yarimo'tkazgich sanoatida muhim jarayon bo'lib, u erda yuqori sifatli yupqa plyonkalar substratlarga yotqiziladi. MOCVD jarayonining asosiy komponenti ishlab chiqarilgan plyonkalarning bir xilligi va sifatini ta'minlashda muhim rol o'ynaydigan sezgir element hisoblanadi.
Susseptor nima? Susseptor - MOCVD jarayonida yupqa plyonkalar yotqizilgan substratni qo'llab-quvvatlash va isitish uchun ishlatiladigan maxsus komponent. U bir nechta funktsiyalarni bajaradi, jumladan elektromagnit energiyani yutish, uni issiqlikka aylantirish va bu issiqlikni substrat bo'ylab bir tekis taqsimlash. Bu bir xil isitish aniq qalinligi va tarkibi bo'lgan bir hil plyonkalarning o'sishi uchun zarurdir.
Sutseptorlarning turlari:
1. Grafit susseptorlari: Odatda himoya qatlami bilan qoplangan, masalankremniy karbid (SiC), grafit sezgichlari yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi va barqarorligi bilan mashhur. TheSiC qoplamasiyuqori haroratlarda korroziyaga va buzilishlarga qarshilik ko'rsatadigan qattiq, himoya sirtini ta'minlaydi.
2. Silikon karbid (SiC) ushlagichlari: Ular butunlay SiC dan ishlab chiqarilgan bo'lib, mukammal termal barqarorlik va aşınmaya va yıpranmaya qarshilik ko'rsatadi.SiC sezgirlariayniqsa, yuqori haroratli jarayonlar va korroziy muhitlar uchun javob beradi.
QanaqasigaSutseptorlarMOCVD da ishlash:
MOCVD jarayonida prekursorlar reaktor kamerasiga kiritiladi, u erda ular parchalanadi va substratda yupqa plyonka hosil qilish uchun reaksiyaga kirishadi. Sutseptor substratning bir xilda isitilishini ta'minlash orqali hal qiluvchi rol o'ynaydi, bu esa butun substrat yuzasi bo'ylab izchil plyonka xususiyatlariga erishish uchun juda muhimdir. Sutseptorning materiali va dizayni cho'kish jarayonining harorat oralig'i va kimyoviy muvofiqligi kabi o'ziga xos talablariga mos kelish uchun ehtiyotkorlik bilan tanlangan.
Foydalanishning afzalliklariYuqori sifatli ushlagichlar:
• Kengaytirilgan plyonka sifati: Bir xil issiqlik taqsimotini ta'minlash orqali sensorlar yarimo'tkazgich qurilmalarining ishlashi uchun juda muhim bo'lgan barqaror qalinlik va tarkibga ega bo'lgan plyonkalarga erishishga yordam beradi.
• Jarayon samaradorligini oshirish: Yuqori sifatli susseptorlar nuqsonlar ehtimolini kamaytirish va foydalanishga yaroqli plyonkalar hosildorligini oshirish orqali MOCVD jarayonining umumiy samaradorligini yaxshilaydi.
• Uzoq umr va ishonchlilik: SiC kabi bardoshli materiallardan tayyorlangan ushlagichlar uzoq muddatli ishonchlilikni ta'minlaydi va texnik xarajatlarni kamaytiradi.
Xulosa: Susseptor MOCVD jarayonida ajralmas komponent bo'lib, yupqa plyonka cho'kmasining sifati va samaradorligiga bevosita ta'sir qiladi. To'g'ri qabul qiluvchi material va dizaynni tanlab, yarimo'tkazgich ishlab chiqaruvchilari o'z jarayonlarini optimallashtirishlari mumkin, bu esa qurilmaning yaxshi ishlashi va ishlab chiqarish xarajatlarini kamaytiradi. Yuqori samarali elektron qurilmalarga talab o'sishda davom etar ekan, yuqori sifatli MOCVD susc ning ahamiyati ortib bormoqda.
Xabar vaqti: 2024 yil 12-avgust