Yarimo'tkazgichlarni qirqish uchun SiC qoplamali tashuvchilar

Qisqacha tavsif:

Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd ilg'or yarimo'tkazgichli keramika yetkazib beruvchi yetakchi hisoblanadi. Bizning asosiy mahsulotlarimizga quyidagilar kiradi: kremniy karbidli o'yilgan disklar, kremniy karbidli qayiq tirkamalari, kremniy karbidli gofret kemalari (PV va yarim o'tkazgich), kremniy karbidli pech quvurlari, kremniy karbid kantilever eshkaklari, kremniy karbid chuck, kremniy karbid nurlari, shuningdek, SiC va CVD TaC qoplamalari.

Mahsulotlar asosan yarimo'tkazgich va fotovoltaik sanoatda, masalan, kristall o'sishi, epitaksiya, o'rash, qadoqlash, qoplama va diffuziya o'choqlari uskunalarida qo'llaniladi.

 

 


Mahsulot detali

Mahsulot teglari

Tavsif

Kompaniyamiz grafit, keramika va boshqa materiallar yuzasida CVD usuli bo'yicha SiC qoplama jarayoni xizmatlarini taqdim etadi, shuning uchun uglerod va kremniy o'z ichiga olgan maxsus gazlar yuqori haroratda reaksiyaga kirishib, yuqori toza SiC molekulalarini, qoplangan materiallar yuzasiga yotqizilgan molekulalarni, SIC himoya qatlamini hosil qiladi.

Asosiy xususiyatlar

1. Yuqori haroratli oksidlanish qarshiligi:
harorat 1600 S gacha bo'lganida oksidlanish qarshiligi hali ham juda yaxshi.
2. Yuqori tozalik: yuqori haroratli xlorlash sharoitida kimyoviy bug'larni cho'ktirish orqali amalga oshiriladi.
3. Eroziyaga chidamlilik: yuqori qattiqlik, ixcham sirt, nozik zarralar.
4. Korroziyaga chidamliligi: kislota, gidroksidi, tuz va organik reagentlar.

CVD-SIC qoplamasining asosiy xususiyatlari

SiC-CVD xususiyatlari

Kristal tuzilishi FCC b fazasi
Zichlik g/sm³ 3.21
Qattiqlik Vickers qattiqligi 2500
Don hajmi mkm 2~10
Kimyoviy tozalik % 99.99995
Issiqlik quvvati J·kg-1 ·K-1 640
Sublimatsiya harorati 2700
Feleksual kuch MPa (RT 4 ball) 415
Yosh moduli Gpa (4pt egilish, 1300℃) 430
Termal kengayish (CTE) 10-6K-1 4.5
Issiqlik o'tkazuvchanligi (Vt/mK) 300
Semicera ish joyi
Semicera ish joyi 2
Uskunalar mashinasi
CNNni qayta ishlash, kimyoviy tozalash, CVD qoplamasi
Bizning xizmatimiz

  • Oldingi:
  • Keyingisi: