Qattiq SiC fokusli halqa

Qisqacha tavsif:

Semicera-ning SiC Etch uzuklari ajoyib chidamlilik va aniqlik bilan yuqori samarali yarimo'tkazgichli qirqish ilovalari uchun mo'ljallangan. Yuqori toza kremniy karbididan (SiC) ishlab chiqarilgan bu o'chirish halqasi plazma bilan ishlov berish, quruq qirqish va gofret bilan ishlov berish jarayonlarida ustunlik qiladi. Semicera-ning ilg'or ishlab chiqarish jarayoni bu halqaning eng qiyin sharoitlarda ham mukammal aşınma qarshilik va termal barqarorlikni ta'minlashini ta'minlaydi. Biz sizning Xitoyda uzoq muddatli hamkor bo'lishni orziqib kutamiz.

Bizga elektron pochta xabarini yuboring

Mahsulot detali

Mahsulot teglari

Semicera kompaniyasining Solid SiC Focus Ring ilg'or yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish talablarini qondirish uchun mo'ljallangan eng zamonaviy komponent hisoblanadi. Yuqori tozalikdan tayyorlanganSilikon karbid (SiC), bu fokusli halqa yarimo'tkazgich sanoatida, ayniqsa, sanoatda keng ko'lamli ilovalar uchun idealdirCVD SiC jarayonlari, plazma bilan qirqish vaICPRIE (induktiv ravishda bog'langan plazma reaktiv ion bilan ishlov berish). Ajoyib aşınmaya bardoshliligi, yuqori termal barqarorligi va tozaligi bilan mashhur bo'lib, u yuqori stressli muhitda uzoq muddatli ishlashni ta'minlaydi.

Yarimo'tkazgichdagofretqayta ishlash, Qattiq SiC Fokus halqalari quruq qirqish va gofret bilan ishlov berish ilovalarida aniq o'ymakorlikni saqlashda juda muhimdir. SiC fokusli rishtasi plazma qirqish mashinasi operatsiyalari kabi jarayonlarda plazmani fokuslashga yordam beradi, bu esa kremniy gofretlarini qirqish uchun ajralmas holga keltiradi. Qattiq SiC materiali eroziyaga misli ko'rilmagan qarshilik ko'rsatadi, bu sizning uskunangizning uzoq umr ko'rishini ta'minlaydi va yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda yuqori o'tkazuvchanlikni saqlash uchun zarur bo'lgan ish vaqtini minimallashtiradi.

Semicera'dan Solid SiC Focus Ring yarimo'tkazgich sanoatida tez-tez uchraydigan haddan tashqari harorat va agressiv kimyoviy moddalarga bardosh berish uchun ishlab chiqilgan. kabi yuqori aniqlikdagi vazifalarda foydalanish uchun maxsus ishlab chiqilganCVD SiC qoplamalari, bu erda tozalik va chidamlilik birinchi o'rinda turadi. Termal zarbaga mukammal qarshilikka ega bo'lgan ushbu mahsulot eng og'ir sharoitlarda, jumladan, yuqori harorat ta'sirida barqaror va barqaror ishlashni ta'minlaydi.gofretqirqish jarayonlari.

Aniqlik va ishonchlilik muhim ahamiyatga ega bo'lgan yarimo'tkazgichli ilovalarda Solid SiC Focus Ring qirqish jarayonlarining umumiy samaradorligini oshirishda hal qiluvchi rol o'ynaydi. Uning mustahkam, yuqori unumli dizayni uni ekstremal sharoitlarda ishlaydigan yuqori tozalikdagi komponentlarni talab qiladigan sohalar uchun mukammal tanlov qiladi. FoydalanilganmiCVD SiC halqasiilovalar yoki plazma bilan ishlov berish jarayonining bir qismi sifatida Semicera's Solid SiC Focus Ring uskunangizning ishlashini optimallashtirishga yordam beradi va ishlab chiqarish jarayonlaringiz talab qiladigan uzoq umr va ishonchlilikni ta'minlaydi.

Asosiy xususiyatlar:

• Yuqori aşınma qarshilik va yuqori termal barqarorlik
• Foydalanish muddatini uzaytirish uchun yuqori tozalikdagi qattiq SiC materiali
• Plazma bilan qirqish, ICP RIE va quruq surtish ilovalari uchun ideal
• Gofret bilan ishlov berish uchun juda mos keladi, ayniqsa CVD SiC jarayonlarida
• Ekstremal muhit va yuqori haroratlarda ishonchli ishlash
• Silikon plastinalarni qirqishda aniqlik va samaradorlikni ta'minlaydi

Ilovalar:

• Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda CVD SiC jarayonlari
• Plazma qirqish va ICP RIE tizimlari
• Quruq qirqish va gofret bilan ishlov berish jarayonlari
• Plazma qirqish mashinalarida yotqizish va yotqizish
• Gofret halqalari va CVD SiC halqalari uchun nozik komponentlar