SemiceraSilikon karbidli keramik qoplamajuda qattiq va aşınmaya bardoshli kremniy karbid (SiC) materialidan tayyorlangan yuqori samarali himoya qoplamasi. Qoplama odatda CVD yoki PVD jarayoni bilan substrat yuzasiga yotqiziladikremniy karbid zarralari, mukammal kimyoviy korroziyaga chidamlilik va yuqori harorat barqarorligini ta'minlaydi. Shuning uchun, Silikon karbid seramika qoplamasi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarining asosiy qismlarida keng qo'llaniladi.
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda,SiC qoplamasi1600 ° C gacha bo'lgan juda yuqori haroratga bardosh bera oladi, shuning uchun Silikon Karbid Seramika Qoplamasi ko'pincha yuqori harorat yoki korroziy muhitda shikastlanishning oldini olish uchun uskunalar yoki asboblar uchun himoya qatlami sifatida ishlatiladi.
Xuddi o'sha payt,kremniy karbidli keramik qoplamakislotalar, ishqorlar, oksidlar va boshqa kimyoviy reagentlarning eroziyasiga qarshi tura oladi va turli xil kimyoviy moddalarga yuqori korroziyaga chidamliligiga ega. Shuning uchun, bu mahsulot yarimo'tkazgich sanoatida turli korroziy muhitlar uchun javob beradi.
Bundan tashqari, boshqa keramik materiallar bilan solishtirganda, SiC yuqori issiqlik o'tkazuvchanligiga ega va issiqlikni samarali o'tkazishi mumkin. Bu xususiyat haroratni aniq nazorat qilishni talab qiladigan yarimo'tkazgichli jarayonlarda yuqori issiqlik o'tkazuvchanligini aniqlaydiSilikon karbidli keramik qoplamaissiqlikni teng ravishda tarqatish, mahalliy qizib ketishning oldini olish va qurilmaning optimal haroratda ishlashini ta'minlashga yordam beradi.
| CVD sic qoplamasining asosiy fizik xususiyatlari | |
| Mulk | Oddiy qiymat |
| Kristal tuzilishi | FCC b fazali polikristal, asosan (111) yo'naltirilgan |
| Zichlik | 3,21 g/sm³ |
| Qattiqlik | 2500 Vickers qattiqligi (500 g yuk) |
| Don hajmi | 2 ~ 10 mkm |
| Kimyoviy tozalik | 99,99995% |
| Issiqlik quvvati | 640 J·kg-1· K-1 |
| Sublimatsiya harorati | 2700 ℃ |
| Bukilish kuchi | 415 MPa RT 4 nuqtali |
| Yosh moduli | 430 Gpa 4pt egilish, 1300 ℃ |
| Issiqlik o'tkazuvchanligi | 300 Vt·m-1· K-1 |
| Termal kengayish (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
