SOI gofretlari

Qisqa Tasvir:

SOI gofreti uchta qatlamli sendvichga o'xshash strukturadir;Yuqori qatlam (qurilma qatlami), ko'milgan kislorod qatlamining o'rtasi (izolyatsion SiO2 qatlami uchun) va pastki substrat (ommaviy kremniy) shu jumladan.SOI gofretlari SIMOX usuli va gofretni yopishtirish texnologiyasidan foydalangan holda ishlab chiqariladi, bu esa qurilma qatlamlarini yanada nozik va aniqroq qilish, bir xil qalinlik va past nuqson zichligini ta'minlaydi.


Mahsulot detali

Mahsulot teglari

SOI gofretlari(1)

Ilova maydoni

1. Yuqori tezlikdagi integral sxema

2. Mikroto'lqinli pechlar

3. Yuqori haroratli integral sxema

4. Energiya qurilmalari

5. Kam quvvatli integral sxema

6. MEMS

7. Past kuchlanishli integral sxema

Element

Dalil

Umuman

Gofret diametri
màngìní (mm)

50/75/100/125/150/200mm±25um

Yoy / burilish
yàngìnẦ(

<10um

Zarrachalar
yàngìnẦ(

0,3um<30ea

Kvartiralar/Tenglik
mīngī/kīngīng

Yassi yoki tishli

Chetni istisno qilish
línjínjín (mm)

/

Qurilma qatlami
mìnì

Qurilma qatlami turi/Dopant
míngíngíngín

N-turi/P-turi
B/ P/ Sb / As

Qurilma qatlami yo'nalishi
mìnìnìnì

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Qurilma qatlamining qalinligi
mìnìnėngjín (um)

0,1 ~ 300um

Qurilma qatlamining qarshiligi
míngíngínín (ohm•sm)

0,001 ~ 100,000 ohm-sm

Qurilma qatlami zarralari
chàngàngìnìnẦ(

<30ea@0.3

Qurilma qatlami TTV
tTV(

<10um

Qurilma qatlamini tugatish
míngíngíngíngín

Jilolangan

QUTI

Ko'milgan termal oksidning qalinligi
màngāngāngān (um)

50nm (500Å) ~ 15um

Tutqich qatlami
lín

Gofret turi/dopant tutqichi
língjílín

N-turi/P-turi
B/ P/ Sb / As

Gofret yo'nalishini boshqaring
língíngí

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Gofretning qarshiligi
língíngín (ohm•sm)

0,001 ~ 100,000 ohm-sm

Gofret qalinligi
línzínjẦ(um)

>100um

Gofret bilan ishlov berish
língíngíní

Jilolangan

Maqsadli spetsifikatsiyalarning SOI gofretlari mijozlar talablariga muvofiq sozlanishi mumkin.

Semicera ish joyi Semicera ish joyi 2

Uskunalar mashinasiCNNni qayta ishlash, kimyoviy tozalash, CVD qoplamasi

Bizning xizmatimiz


  • Oldingi:
  • Keyingisi: