TaC bilan qoplangan grafit hidoyat halqalarining yupqa qatlamini cho'ktirishga murojaat qilingtantal karbiduning aşınma qarshiligini, yuqori haroratga chidamliligini va kimyoviy barqarorligini yaxshilash uchun grafit hidoyat halqasining yuzasida. Ushbu qoplama odatda grafit hidoyat halqasining yuzasida jismoniy bug 'birikishi (PVD) yoki kimyoviy bug'ning cho'kishi (CVD) kabi usullar bilan hosil bo'ladi.
Semicera turli komponentlar va tashuvchilar uchun maxsus tantal karbid (TaC) qoplamalarini taqdim etadi.Semicera etakchi qoplama jarayoni tantal karbid (TaC) qoplamalariga yuqori tozalik, yuqori harorat barqarorligi va yuqori kimyoviy bardoshlik, SIC / GAN kristallari va EPI qatlamlarining mahsulot sifatini yaxshilash imkonini beradi (Grafit bilan qoplangan TaC sensori) va asosiy reaktor komponentlarining ishlash muddatini uzaytirish. Tantal karbidli TaC qoplamasidan foydalanish chekka muammosini hal qilish va kristall o'sishi sifatini yaxshilashdir va Semicera xalqaro ilg'or darajaga yetib, tantal karbid qoplama texnologiyasini (CVD) hal qildi.
Ko'p yillik rivojlanishdan so'ng Semicera texnologiyasini zabt etdiCVD TaCAR-GE bo'limining birgalikdagi sa'y-harakatlari bilan. SiC gofretlarining o'sish jarayonida nuqsonlar paydo bo'lishi oson, lekin foydalanishdan keyinTaC, farq sezilarli. Quyida bitta kristall o'sishi uchun TaC bo'lgan va bo'lmagan gofretlarni, shuningdek Simicera qismlarini taqqoslash mumkin.
TaC bilan qoplangan grafit hidoyat halqalarining asosiy xususiyatlari quyidagilardan iborat:
1. Yuqori harorat qarshiligi: TaC qoplamasi mukammal yuqori harorat barqarorligiga ega va yuqori haroratli muhitda barqarorlikni saqlab turishi mumkin.
2. Aşınma qarshilik: Tantal karbid yupqa qatlamining yuqori qattiqligi hidoyat halqasiga yaxshi aşınma qarshilik beradi va xizmat muddatini uzaytiradi.
3. Kimyoviy barqarorlik: TaC qoplamasi kimyoviy korroziyaga qarshi yuqori barqarorlikka ega, bu uni ba'zi korroziv muhitda qo'llash uchun mos qiladi.
4. Ishqalanishni kamaytiring: TaC qoplamasi grafit hidoyat halqasi va boshqa komponentlar orasidagi ishqalanishni samarali ravishda kamaytirishi va mexanik muhrlarning samaradorligini oshirishi mumkin.
TaC bilan va holda
TaC dan foydalangandan so'ng (o'ngda)
Bundan tashqari, SemiceraTaC bilan qoplangan mahsulotlarnisbatan uzoqroq xizmat muddati va yuqori haroratga chidamliligini namoyish etadiSiC qoplamalari.Laboratoriya o'lchovlari shuni ko'rsatdiki, bizningTaC qoplamalariuzoq vaqt davomida 2300 daraja Selsiygacha bo'lgan haroratda doimiy ravishda ishlashi mumkin. Quyida bizning namunalarimizdan ba'zi misollar keltirilgan:
