CVD TaC qoplamasi

CVD TaC qoplamasiga kirish:

CVD TaC qoplamasi - bu substrat yuzasiga tantal karbid (TaC) qoplamini joylashtirish uchun kimyoviy bug 'cho'kmasidan foydalanadigan texnologiya. Tantal karbid mukammal mexanik va kimyoviy xususiyatlarga ega yuqori samarali keramik materialdir. CVD jarayoni gaz reaktsiyasi orqali substrat yuzasida bir xil TaC plyonka hosil qiladi.

Asosiy xususiyatlar:

Ajoyib qattiqlik va aşınma qarshilik: Tantal karbid juda yuqori qattiqlikka ega va CVD TaC qoplamasi substratning aşınma qarshiligini sezilarli darajada yaxshilaydi. Bu qoplamani kesish asboblari va qoliplar kabi yuqori aşınma muhitida qo'llash uchun ideal qiladi.

Yuqori harorat barqarorligi: TaC qoplamalari muhim o'choq va reaktor komponentlarini 2200 ° C gacha bo'lgan haroratlarda himoya qiladi va yaxshi barqarorlikni namoyish etadi. U haddan tashqari harorat sharoitida kimyoviy va mexanik barqarorlikni saqlaydi, bu uni yuqori haroratli ishlov berish va yuqori haroratli muhitda qo'llash uchun mos qiladi.

Ajoyib kimyoviy barqarorlik: Tantal karbid ko'pchilik kislotalar va gidroksidilarga kuchli korroziyaga chidamliligiga ega va CVD TaC qoplamasi korroziy muhitda substratning shikastlanishini samarali oldini oladi.

Yuqori erish nuqtasi: Tantal karbid yuqori erish nuqtasiga (taxminan 3880 ° C) ega bo'lib, CVD TaC qoplamasini eritmasdan yoki buzmasdan o'ta yuqori harorat sharoitida ishlatishga imkon beradi.

Ajoyib issiqlik o'tkazuvchanligi: TaC qoplamasi yuqori issiqlik o'tkazuvchanligiga ega, bu yuqori haroratli jarayonlarda issiqlikni samarali ravishda yo'qotish va mahalliy qizib ketishning oldini olishga yordam beradi.

Potentsial ilovalar:

• Galliy nitridi (GaN) va kremniy karbid epitaksial CVD reaktor komponentlari, shu jumladan gofret tashuvchilar, sun'iy yo'ldosh antennalari, dush boshlari, shiftlar va ushlagichlar

• Silikon karbid, galliy nitridi va alyuminiy nitridi (AlN) kristall o'sishi komponentlari, shu jumladan tigellar, urug 'ushlagichlari, hidoyat halqalari va filtrlar

• Sanoat komponentlari, shu jumladan qarshilikli isitish elementlari, inyeksiya nozullari, niqoblash halqalari va lehimlash moslamalari

Ilova xususiyatlari:

• 2000°C dan yuqori harorat barqaror, ekstremal haroratlarda ishlashga imkon beradi
• Vodorod (Hz), ammiak (NH3), monosilan (SiH4) va kremniyga (Si) chidamli bo'lib, qattiq kimyoviy muhitda himoya qiladi.
• Uning termal zarba qarshiligi tezroq ishlash davrlarini ta'minlaydi
• Grafit kuchli yopishish xususiyatiga ega bo'lib, uzoq xizmat qilish muddatini ta'minlaydi va qoplama qatlamini ajratmaydi.
• Keraksiz aralashmalar yoki ifloslantiruvchi moddalarni yo'q qilish uchun juda yuqori tozalik
• Qattiq o'lchamli toleranslarga mos qoplama qoplamasi

Texnik spetsifikatsiyalar:

CVD bilan zich tantal karbid qoplamalarini tayyorlash: