Silikon karbid (SiC) qoplamali gofret tashuvchilar

Gofret tashuvchilarbilanSilikon karbid (SiC) qoplamasifrom semicera yuqori samarali epitaksial o'sish uchun mo'ljallangan bo'lib, optimal natijalarni ta'minlaydiEpitaksiyavaSiC epitaksisiilovalar. Semicera'ning nozik muhandislik tashuvchilari ekstremal sharoitlarga bardosh berish uchun qurilgan bo'lib, ularni yuqori aniqlik va chidamlilikni talab qiluvchi tarmoqlar uchun MOCVD Susceptor tizimlarining muhim tarkibiy qismlariga aylantiradi.

Ushbu gofret tashuvchilar ko'p qirrali bo'lib, muhim jarayonlarni uskunalar bilan qo'llab-quvvatlaydiPSS etching tashuvchisi, ICP etching tashuvchisi, vaRTP tashuvchisi. Ularning mustahkam SiC qoplamasi kabi ilovalar uchun ish faoliyatini yaxshilaydiLED epitaksialSutseptor va monokristalli kremniy, hatto talabchan muhitda ham barqaror natijalarni ta'minlaydi.

Barrel Susceptor va Pancake Susceptor kabi bir nechta konfiguratsiyalarda mavjud bo'lgan ushbu tashuvchilar fotovoltaik va yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda muhim rol o'ynaydi, Fotovoltaik qismlarni ishlab chiqarishni qo'llab-quvvatlaydi va SiC Epitaxy jarayonlarida GaN ni osonlashtiradi. Yuqori dizayni bilan ushbu tashuvchilar yuqori samarali ishlab chiqarishni maqsad qilgan ishlab chiqaruvchilar uchun asosiy boylikdir.